Получение распыляемых композитных мишеней, содержащих фазы сплавов Гейслера Co2FeSi или Co2MnSi
Демидов Е.С.1, Сдобняков В.В.1, Вазенмиллер Г.В.1, Чигиринский Ю.И.1, Дудин Ю.А.1, Лесников В.П.1, Трушин В.Н.1, Болдин М.С.1, Белкин О.А.1, Бобров А.А.1, Сахаров Н.В.1
1Нижегородский государственный университет им. Н.И. Лобачевского, Нижний Новгород, Россия
Email: sdobnyakov@phys.unn.ru
Поступила в редакцию: 23 октября 2017 г.
Выставление онлайн: 19 июня 2018 г.
Описан способ изготовления механически прочных, распыляемых композитных мишеней, содержащих фазу сплава Гейслера Cо2FeSi или Co2MnSi стехиометрического состава, который может быть использован для изготовления приборов спиновой электроники методом высокочастотного магнетронного осаждения и импульсного лазерного осаждения тонких пленок.
- Патент. US 7973351 B2, кл. H01L21/02, опубл. 05.07.2011 г
- Патент. US 8070919 B2, кл. B32B17/06, C23C 14/35, опубл. 06.12.2011 г
- Патент. RU 2405062, C23C14/34, B22F3/15, B22F9/10, B22D7/00, опубл. 27.11.2010 г
- Orru R., Licheri R., Locci A.M., Cincotti A., Cao G. // Mater. Sci. Engineer. 2009. Vol. 63. P. 127
- Хрустов В.Р. Автореф. канд. дис. Разработка и исследование керамик на основе нанопорошков оксидов алюминия, циркония и церия. Екатеринбург, 2010
- Wang S.W, Chen L.D., Hirai T., Jingkun G. // J. Mater. Res. 2001. Vol. 16. N 12
- Shapiro I.P., Todd R.I., Titchmarsh J.M., Roberts S.G. // J. Europ. Ceramic Societ. 2009. Vol. 29. P. 1613
- Номоев А.В. // Письма в ЖТФ. 2010. Т. 36. Вып. 21. С. 46
- Wang J., Lim S.Y., Ng S.C., Chew C.H., Gan L.M. // Mater. Lett. 1998. Vol. 33. P. 273
- Guo S., Limpichaipanit A., Todd R.I. // J. Euroр. Ceramic Societ. 2011. Vol. 31. P. 97
- Anya C.C., Roberts S.G. // J. Europ. Ceramic Societ. 1997. Vol. 17. P. 565
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
