Вышедшие номера
Исследование структуры ультратонких поликристаллических пленок Fe, выращенных на поверхности SiO2/Si(001)
Переводная версия: 10.1134/S106378421801005X
Президиум ДВО РАН, Программа фундаментальных исследований ДВО РАН «Дальний Восток» 2015-2017 гг., 0262-2015-0130
Балашев В.В. 1,2, Коробцов В.В. 1,2
1Институт автоматики и процессов управления ДВО РАН, Владивосток, Россия
2Школа естественных наук Дальневосточного федерального университета, Владивосток, Россия
Email: balashev@mail.dvo.ru, korobtsov@iacp.dvo.ru
Поступила в редакцию: 26 апреля 2017 г.
Выставление онлайн: 20 декабря 2017 г.

Методом дифракции быстрых электронов (ДБЭ) исследована структура поликристаллических пленок Fe, выращенных на окисленной поверхности Si(001) при комнатной температуре. Установлено, что ориентация зерен в выращенных пленках зависит от количества осажденного железа. Для пленок Fe толщиной менее 5 nm была характерна случайная ориентация зерен Fe. Пленки Fe толщиной более 5 nm имели (111) текстуру, ось которой совпадала с нормалью к поверхности. Угловое отклонение направления [111] решетки Fe относительно нормали к поверхности составляло ± 25o. Обнаружено, что увеличение толщины пленки железа приводит к появлению (110) текстуры. DOI: 10.21883/JTF.2018.01.45485.2314