Динамика импульсного магнетронного разряда в сильноточной электронной пушке
Кизириди П.П.1, Озур Г.Е.1, Зюлькова Л.А.1, Попов С.А.1, Шевелёв С.А.2, Алёхин М.А.1,2
1Институт сильноточной электроники СО РАН, Томск, Россия
2Национальный исследовательский Томский политехнический университет, Томск, Россия
Поступила в редакцию: 22 февраля 2017 г.
Выставление онлайн: 20 октября 2017 г.
С помощью скоростной видеосъемки исследована динамика импульсного газового разряда низкого давления (аргон 0.053-0.133 Pa) в планарном магнетроне, встроенном во взрывоэмиссионный катод сильноточной электронной пушки. Установлено, что вначале разряд зажигается у боковой поверхности катода и лишь затем переходит на его торцевую поверхность. Исследована зависимость стабильности момента зажигания разряда на торцевой поверхности катода от давления рабочего газа и конструкции катода. Установлено, что наложение импульсного продольного магнитного поля приводит к переключению разряда в аксиальном направлении на коллектор электронной пушки. Представлено качественное объяснение наблюдаемого поведения разряда.
- Proskurovsky D.I., Ivanov Yu.F., Rotshtein V.P. et al // J. Vacuum Sci. Technol. 1998. Vol. A16(4). P. 2480-2488
- Uno Y., Okada A., Uemura K. et al // Precision Engineering. 2005. Vol. 29. P. 449-455
- Ozur G.E., Proskurovsky D.I., Rotshtein V.P., Markov A.B. // Laser Particle Beams. 2003. Vol. 21. P. 157-174
- Dian Luo, Guangze Tang, Xinxin Ma, Le Gu, Liqin Wang, Tingbao Wu, Fang Ma. // Vacuum. 2017. Vol. 136. P. 121-128
- Лоусон Дж.Д. Физика пучков заряженных частиц. Пер. с англ. М.: Мир, 1980. 438 с
- Рухадзе А.А., Богданкевич Л.С., Росинский С.Е., Рухлин В.Г. Физика сильноточных релятивистских электронных пучков. М.: Атомиздат, 1980. 168 с
- Диденко А.Н., Григорьев В.П., Усов Ю.П. Мощные электронные пучки и их применение. М.: Атомиздат, 1977. 277 с
- Назаров Д.С., Озур Г.Е., Проскуровский Д.И. // ПТЭ. 1996. Вып. 4. С. 83-88
- Озур Г.Е., Проскуровский Д.И., Карлик К.В. // ПТЭ. 2005. Вып. 6. С. 58-65
- Озур Г.Е., Батраков А.В., Карлик К.В., Зюлькова Л.А. // Известия вузов. Физика. 2013. T. 56. Вып. 7/2. C. 37-41
- Кизириди П.П., Озур Г.Е. // ЖТФ. 2015. Т. 85. Вып. 6. С. 132-136
- Meisner L.L., Markov A.B., Proskurovsky D.I., Rotshtein V.P., Ozur G.E., Meisner S.N., Yakovlev E.V., Poletika T.M., Girsova S.L., Semin V.O. // Surf. Coating. Technol. 2016. Vol. 302. P. 495-506
- Kiziridi P.P., Ozur G.E. // Proc. 19^th Int. Symp. on High-Current Electronics, Tomsk, Russia, October 2-7, 2016 (to be published in a special issue of the journal "Vacuum" in 2017)
- Кузьмичёв А.И. Магнетронные распылительные системы. Книга 1: Введение в физику и технику магнетронного распыления. Киев: Аверс, 2008. 244 с
- Nikolaev A.G., Oks E.M., Vizir A.V., Yushkov G.Yu., Frolova V.P. // Rev. Sci. Instr. 2016. Vol. 87. N 2. 02A902
- Вересов Л.П., Вересов О.Л. // ЖТФ. 2016. Т. 86. Вып. 1. С. 61-69
- Арцимович Л.А., Лукьянов С.Ю. Движение заряженных частиц в электрических и магнитных полях. М.: Наука: Гл. ред. физ. мат. лит., 1972. 224 с
- Ozur G.E., Popov S.A., Lazutkin M.N. // Proc. of the 13th Symposium on High Current Electronics. Tomsk, Russia, July 25-29, 2004. P. 60-63
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.