Журнал технической физики
Авторам
Вышедшие номера
- 2024
- 2023
- 2022
- 2021
- 2020
- 2019
- 2018
- 2017
- 2016
- 2015
- 2014
- 2013
- 2012
- 2011
- 2010
- 2009
- 2008
- 2007
- 2006
- 2005
- 2004
- 2003
- 2002
- 2001
- 2000
- 1999
- 1998
- 1997
- 1996
- 1995
- 1994
- 1993
- 1992
- 1991
- 1990
- 1989
- 1988
Повышение точности аппроксимации профиля зоны эрозии планарных магнетронов
1Национальный исследовательский центр "Курчатовский институт", Москва, Россия 
Email: alex-rogov@yandex.ru
Поступила в редакцию: 11 января 2017 г.
Выставление онлайн: 20 августа 2017 г.
-2 Показано, что использование смещенной по оси ординат функции выживания распределения Вейбулла позволяет повысить точность аппроксимации нормированного профиля зоны эрозии в области от оси до максимума распыления по сравнению с предложенной ранее функцией распределения экстремальных значений. В области от максимума до внешней границы зоны эрозии используется функция выживания распределения Вейбулла. Наибольшее преимущество использования новой аппроксимации проявляется для магнетронов с большим центральным нераспыляемым пятном и для магнетронов со значительным распылением в приосевой зоне. DOI: 10.21883/JTF.2017.09.44923.2162
- Голосов Д.А., Мельников С.Н., Достанко А.П. // Электронная обработка материалов. 2012. Т. 48. N 1. С. 63--72
- Рогов А.В., Капустин Ю.В. // ЖТФ. 2016. Т. 86. Вып. 10. С. 142--145
- Forbes C., Evans M., Hastings N., Peacock B. Statistical Distributions. New Jercey: John Wiley \& Sons, 2011. P. 98, 193
- Данилин Б.С. Применение низкотемпературной плазмы для нанесения тонких пленок. М.: Энергоатомиздат, 1989. С. 85--89
- http://operafea.com/wp-content/uploads/2013/06/EUGM2013\_ Day2\_5\_SE\_Plasma-Simulation-of-target-Erosion-and-Film-Deposition-in-a-Magnetron-Sputter-Coater-CCC.pdf
- Достанко А.П., Голосов Д.А., Мельников С.Н. // Матер. 11-й Междунар. конф. Взаимодействие излучений с твердым телом". Минск, 2015. С. 398--400
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
