"Журнал технической физики"
Издателям
Вышедшие номера
Повышение точности аппроксимации профиля зоны эрозии планарных магнетронов
Рогов А.В.1, Капустин Ю.В.1
1Национальный исследовательский центр "Курчатовский институт", Москва, Россия
Email: alex-rogov@yandex.ru
Поступила в редакцию: 11 января 2017 г.
Выставление онлайн: 20 августа 2017 г.

-2 Показано, что использование смещенной по оси ординат функции выживания распределения Вейбулла позволяет повысить точность аппроксимации нормированного профиля зоны эрозии в области от оси до максимума распыления по сравнению с предложенной ранее функцией распределения экстремальных значений. В области от максимума до внешней границы зоны эрозии используется функция выживания распределения Вейбулла. Наибольшее преимущество использования новой аппроксимации проявляется для магнетронов с большим центральным нераспыляемым пятном и для магнетронов со значительным распылением в приосевой зоне. DOI: 10.21883/JTF.2017.09.44923.2162
  1. Голосов Д.А., Мельников С.Н., Достанко А.П. // Электронная обработка материалов. 2012. Т. 48. N 1. С. 63--72
  2. Рогов А.В., Капустин Ю.В. // ЖТФ. 2016. Т. 86. Вып. 10. С. 142--145
  3. Forbes C., Evans M., Hastings N., Peacock B. Statistical Distributions. New Jercey: John Wiley \& Sons, 2011. P. 98, 193
  4. Данилин Б.С. Применение низкотемпературной плазмы для нанесения тонких пленок. М.: Энергоатомиздат, 1989. С. 85--89
  5. http://operafea.com/wp-content/uploads/2013/06/EUGM2013\_ Day2\_5\_SE\_Plasma-Simulation-of-target-Erosion-and-Film-Deposition-in-a-Magnetron-Sputter-Coater-CCC.pdf
  6. Достанко А.П., Голосов Д.А., Мельников С.Н. // Матер. 11-й Междунар. конф. Взаимодействие излучений с твердым телом". Минск, 2015. С. 398--400

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.