Вышедшие номера
Состав и свойства наноразмерных структур Si, созданных на поверхности CoSi2/Si(111) бомбардировкой ионами Ar+
Эргашов Ё.С.1
1Ташкентский государственный технический университет, Ташкент, Узбекистан
Email: yergashev@mail.ru
Поступила в редакцию: 7 июля 2016 г.
Выставление онлайн: 19 апреля 2017 г.

Работа посвящена изучению изменения состава и структуры поверхностных слоев CoSi2/Si(111) при бомбардировке ионами Ar+ с последующим отжигом. Показано, что при низких дозах (D≤ 1015 cm-2) на поверхности CoSi2 формируются нанокластерные фазы, обoгащенные атомами Si, а при высоких дозах - нанопленка чистого Si.