"Журнал технической физики"
Издателям
Вышедшие номера
Планаризация поверхности композиции нанопористый диоксид кремния-диоксид титана" методом атомно-молекулярной химической сборки
Лучинин В.В.1, Панов М.Ф.1, Романов А.А.1
1Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" им. В.И. Ульянова (Ленина), Санкт-Петербург, Россия
Email: 19_panov_59@mail.ru
Поступила в редакцию: 13 октября 2016 г.
Выставление онлайн: 19 апреля 2017 г.

Исследованы процессы, происходящие при планаризации поверхности нанопористого SiO2 методом атомно-молекулярного наслаивания наноразмерных пленок TiO2, в режимах, обеспечивающих различное проникновение TiO2 в нанопоры SiO2. Рассмотрены параметры технологического процесса, обеспечивающие различные режимы планаризации поверхности. Степень проникновения TiO2 в нанопоры SiO2 проконтролирована методом отражательной эллипсометрии путем измерения распределения показателя преломления по глубине структуры в рамках двуслойной модели. DOI: 10.21883/JTF.2017.05.44447.2062
  1. Brusa R.S., Macchi C., Mariazzi S., Karwasz G.P. // Acta Phys. Polon. A. 2005. Vol. 107. N 4. P. 702--711
  2. Worsleya M.A., Roberts M., Bent S.F., Gates S.M., Shaw T., Volksen W., Miller R. // Microelectronic Engineering, 2005. Vol. 82, N 2. P. 113--118
  3. Максимов А.И., Мошников В.А., Таиров Ю.М., Шилова О.А. Основы золь-гель технологии нанокомпозитов. С-Пб.: Элмор, 2007
  4. Гавриленко В.И., Грехов А.М., Корбутяк Д.В, Литовченко В.Г. Оптические свойства полупрововдников. Справочник. Киев: Наукова думка, 1987
  5. Курашов А.А. // Молодой ученый. 2013. Т. 1. N 6. С. 63--68
  6. Дрозд В.Е., Романов А.А., Володажский В.А., Кузнецова М.А., Севостьянов Е.Н. // Биотехносфера. 2011. N 1-2(13-14). С. 26--31
  7. Goloudina S.I., Ivanov A.S., Krishtab M.B., Luchinin V.V., Pasyuta V.M., Gofman I.V., Sklizkova V.P., Kudryavtsev V.V., Baklanov R.M. // Mater. Res. Soc. Symp. Proceed. 2012. Vol. 1428
  8. Лучинин В.В., Панов М.Ф. // Микроэлектроника. 2002. T. 31. N 2. С. 129--134
  9. Аззам Р.М., Башара Н.М. Эллипсометрия и поляризованный свет. М.: Мир, 1981
  10. Димитров Д.Ц., Лучинин В.В., Мошников В.А., Панов М.Ф // ЖТФ. 1999. T. 69. Вып. 4. С. 129--131

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.