"Журнал технической физики"
Издателям
Вышедшие номера
Осаждение алмазных структур из взаимодействующих газовых струй
Емельянов A.A.1, Ребров A.K.1, Юдин И.Б.1
1Институт теплофизики им. С.С. Кутателадзе СО РАН, Новосибирск, Россия
Email: yudinib@gmail.com
Поступила в редакцию: 5 апреля 2016 г.
Выставление онлайн: 19 ноября 2016 г.

Представлены результаты экспериментов газоструйного синтеза алмаза из потоков метана и водорода при различных условиях смешения. Предложен оригинальный способ раздельной подачи газовых струй, позволяющий достичь высокой скорости роста алмазной фазы. Синтез алмазных структур при газоструйном осаждении исследовался при раздельной подаче двух потоков --- водорода и смеси водорода с метаном в двух вариантах: с боковой подачей метаносодержащей смеси и осесимметричной подачей. Эксперименты проводились при условиях: температура поверхности, активирующей водород, 2400 K, температура подложки от 900 до 1300 K, давление в камере осаждения 2·102 Pa, потоки газовых смесей по водороду 1500 ncm3/min, концентрация CH4 в Н2 от 0.1 до 0.7%, расстояние подложки от реактора 10 mm. В случае раздельной боковой подачи метаносодержащего газа и водорода достигнута скорость осаждения 20 mum/h, в случае осесимметричной раздельной подачи газов выращен монокристалл весом 0.6 mg, что соответствует скорости осаждения примерно 200 mum/h.
  1. Spitsin B.V. Handbook of Crystal Growth. Amsterdam, Elsevier, 1994. Vol. 3. Chap. 10. P. 401
  2. Okoli S., Haubner R., Lux B. // Surface and Coatings Technology. 1991. Vol. 47. N 1-3. P. 585-599
  3. Emelyanov A., Rebrov A., Yudin I. // Phys. Stat. Solidi (a). 2014. Vol. 211. N 10. P. 2279-2283
  4. Rebrov A., Emelyanov A., Kosolobov S., Yudin I. // Phys. St. Sol. C. 2015. Vol. 12. N 7. P. 931-933
  5. Емельянов А.А., Ребров А.К., Юдин И.Б. // Прикладная механика и техническая физика. 2014. Т. 55. N 2
  6. Rebrov A.K., Emelyanov A.A., Yudin I.B. // Thin Solid Films. 2015. Vol. 575. P. 113-116
  7. Славнов В.М. // Ученые записки ЦАГИ. Т. 1. 1970. N 3. P. 106-108
  8. Rebrov A., Yudin I. // Phys. Stat. Sol. C. Vol. 12. N 7. P. 886-890

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.