Влияние структуры стеклоуглерода на аспектное отношение микроострий матричных автоэмиссионных катодов, изготовленных термохимическим травлением
Плешкова Л.С.1, Шестеркин В.И.1
1Акционерное общество "Научно-производственное предприятие "Алмаз", Саратов, Россия
Email: shesterkin.v@mail.ru
Поступила в редакцию: 7 декабря 2015 г.
Выставление онлайн: 20 октября 2016 г.
Использование технологии термохимического травления позволило проявить и исследовать структуру стеклоуглерода марки СУ-2000 методом электронной микроскопии. На микро- и наноразмерном уровнях структура стеклоуглерода неоднородна и состоит из полостей неправильной в сечении формы, разделенных перегородками. Данная структура накладывает ограничения на величину аспектного отношения геометрических размеров и плотность упаковки микроострий в матрице при их изготовлении методом термохимического травления.
- Kosmal H.G. // IEEE Trans. On Electron Devices. 1991. Vol. 38. N 6. P. 1534--1537
- Spindt C.A. // Teth. Digest of 18 th IVNS. Oxford. UK. 2005. P. 20--21
- Григорьев Ю.А., Васильковский С.В., Шестеркин В.И., Ярцева З.А. // Патент N 1738013. 06.04.93
- Бушуев Н.А., Глухова О.Е., Григорьев Ю.А. и др. // ЖТФ. 2016. Т. 86. Вып. 2. С. 134--139
- Фиалков А.С. Углеграфитовые материалы. М.: Энергия, 1979. 319 с
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.