Вышедшие номера
Влияние давления рабочего газа на магнитные свойства и текстуру поликристаллических пленок Fe/SiO2/Si(100), полученных магнетронным распылением
РФФИ, 16-37-60052
Никулин Ю.В1,2, Джумалиев А.С.1,2, Филимонов Ю.А.2,1,3
1Саратовский филиал Института радиотехники и электроники им. В.А. Котельникова РАН, Саратов, Россия
2Саратовский национальный исследовательский государственный университет им. Н.Г. Чернышевского, Саратов, Россия
3Саратовский государственный технический университет им. Ю.А. Гагарина, Саратов, Россия
Email: yvnikulin@gmail.com, dzhas@yandex.ru
Поступила в редакцию: 24 сентября 2015 г.
Выставление онлайн: 19 апреля 2016 г.

Исследованы магнитные свойства и текстура поликристаллических пленок Fe/SiO2/Si(100) толщиной 90 nm, полученных магнетронным распылением при различном давлении рабочего газа. Показано, что снижение давления может приводить к росту намагниченности пленок на 50% и уменьшению ширины линии ферромагнитного резонанса и поля коэрцитивности более чем на порядок. Указанные изменения магнитных свойств отражают смену текстуры пленок с Fe(110) на Fe(200) и переход от столбчатой микроструктуры к квазиоднородной.
  1. Prinz G.A. // Science. 1998. Vol. 282. P. 1660--1663
  2. Boeck J. De, Van Roy W., Motsnyi V., Liu Z., Dessein K., Borghs G. // Thin Sol. Film 2002. Vol. 412. P. 3--13
  3. Tsai C.S., Su J., Lee C.C. // IEEE Trans. Magn. 1999. Vol. 35. N 5. P. 3178--3180
  4. Nakagawa S., Kamiki T. // J. Magn. Magn. Mater. 2005. Vol. 287. P. 204--208
  5. Seiko W., Hoshia Y., Shimizu H. // J. Magn. Magn. Mater. 2001. Vol. 235. P. 196--200
  6. Colino J.M., Shuller I.K., Schad R., Potter C.D., Belien P., Verbanck G., Moshchalkov V.V., Bruynseraede Y. // Phys. Rev. B. 1996. Vol. 53. P. 766--769
  7. Duluard A., Nequlescu B., Hehn M., Lacour D., Lu Y., Lengaigne G., Montaigne F., Robert S., Suire S., Tiusan C. // Appl. Phys. Lett. 2012. Vol. 100. P. 072408-1-4
  8. Khivintsev Y.V., Kuanr B.K., Harward I., Camley R.E., Celinski Z. // J. Appl. Phys. 2006. Vol. 99. N 8. P. 08P512-1-3
  9. Никулин Ю.В., Хивинцев Ю.В., Филимонов Ю.А. // Гетеромагнитная микроэлектроника. 2008. N 5. С. 70--78
  10. Cantwell P.R., Kim H., Schneider M.M., Hsu H.-H., Peroulis D., Stach E. A., Strachan A. // J. Microelectromechanical Systems. 2012. Vol. 21. N 4. P. 840--849
  11. Jartych E., Chocyk D., Budyinski M., Jalochowski M. // Appl. Surf. Sci. 2001. Vol. 180. P. 246--254
  12. Martinez Boubeta C., Clavero C., Garcia-Martin J.M., Armelles G., Cebollada A., Balcells L., Menendez J.L., Peiro F. , Cornet A., Michael F. Toney // Phys. Rev. B. 2005. Vol. 71. P. 014407-1-10
  13. Wei H., Zhan Q.-F., Wang D.-Y., Chen L.-J., Sun Y., Cheng Z.-H. // Chin. Phys. 2007. Vol. 16. N 11. P. 3541--3544
  14. Ishiwata N., Wakabayashi C., Matsumoto T. // IEEE Trans. Magn. 1987, Vol. 23. N 5. P. 2152--2154
  15. He H., Zha C.L., Ma B., Zhang Z.Z., Jin Q.Y. // J. Magn. Magn. Mater. 2007. Vol. 310. P. 2656--2658
  16. Javed A., Morley N.A., Gibbs M.R.J // Appl. Surf. Sci. 2011. Vol. 257. P. 5586--5590
  17. Kim Y.K., Oliveria M. // J. Appl. Phys. 1993. Vol. 74. P. 1233-1241
  18. Meydan T., Kockar H. // J. Optoelectron. Advanc. Mater. 2004. Vol. 6. N 2. P. 633--636
  19. Takebayashi S., Shimokawa K. // J. Appl. Phys. 1991. Vol. 69. P. 5673
  20. Джумалиев А.С., Никулин Ю.В., Филимонов Ю.А. // Письма в ЖТФ. 2013. Т. 39. Вып. 21. С. 10
  21. Кузьмичев А.И. Магнетронные распылительные системы. Киев: Аверс, 2008. 244 с
  22. Мовчан Б.А., Демчишин А.В. // Физика металлов и металловедение. 1969. Т. 28. С. 83--90
  23. Thornton J.A. // Ann. Rev. Mater. Sci. 1977. Vol. 7. P. 239-260
  24. Barna P.B., Adamik N. // Thin Sol. Films. 1998. Vol. 317. P. 27--33
  25. Petrov I., Barna P.B., Hultmuan A., Greene J.E. // J. Vac. Sci. Technol. A. 2003. Vol. A21. N 5. P. S117--S128
  26. Wang S.G., Tian E.K., Lung C.W. // J. Phys. Chem. Sol. 2000. Vol. 61. P. 1295--1300
  27. Высоцкий C.Л., Джумалиев А.С., Филимонов Ю.А. // РЭ. 2000. Т. 45. N 2. C. 209--213
  28. Джумалиев А.С., Никулин Ю.В., Филимонов Ю.А. // РЭ. 2012. Т. 57. N 5. С. 1--8
  29. Thompson C.V. // Annu. Rev. Mater. Sci. 2000. Vol. 30. Р. 159--190
  30. Zhang J.-M., Zhang Y., Xu K.-W., Ji V. // Physica B. 2007. Vol. 390. P 106--111
  31. Тикадзуми С. Физика ферромагнетизма. Магнитные свойства вещества / Пер. с японского. М.: Мир, 1983. 304 c
  32. Zhong W.H., Chang Q.S., Li S. // Sol. Stat. Commun. 2004. Vol. 130. P. 603--606
  33. Arias R., Mills D.L. // Phys. Rev. B. 1999. Vol. 63. N 10. P. 7395--7409
  34. Яковлев Ю.М., Генделев С.Ш. Монокристаллы ферритов в радиоэлектронике. М.: Советское радио, 1975. 360 с
  35. Кринчик Г.С. Физика магнитных явлений. М: Изд-во МГУ, 1985. 174 с.

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.