Вышедшие номера
Состав морфология и электронная структура наноразмерных фаз, созданных на поверхности SiO2 бомбардировкой ионами Ar+
Юсупжанова М.Б.1, Ташмухамедова Д.А.1, Умирзаков Б.Е.1
1Ташкентский государственный технический университет, Ташкент, Узбекистан
Email: ftmet@rambler.ru
Поступила в редакцию: 8 июля 2015 г.
Выставление онлайн: 20 марта 2016 г.

Изучено влияние бомбардировки ионами Ar+ на состав и структуру поверхности SiO2/Si. Обнаружено, что при высокодозной ионной бомбардировке на поверхности SiO2 образуется тонкая пленка Si.
  1. Демидов Е.С., Михайлов А.Н., Белов А.И., Карзанова М.В., Демидова Н.Е., Чигиринский Ю.И., Шушунов А.Н., Тетельбаум Д.И., Горшков О.Н., Европейцев Е.А. // ФТТ. 2011. Т. 53. Вып. 12. С. 2294--2298
  2. Громов Д.Г., Пятилова О.В., Булярский С.В., Белов А.Н., Раскин А.А. // ФТТ. 2013. Т. 55. Вып. 3. С. 562--566
  3. Комаров Ф.Ф., Власукова Л.А., Мильчанин О.В., Моховиков М., Пархоменко И., Вендлер Е., Веш В., Мудрый А. Тр. XXI Междунар. конф. взаимодействие ионов с поверхностью. Ярославль, Россия, 2013. Т. 2. C. 96--100
  4. Kanemitsu Y., Kushida T. // Appl. Phys. Lett. 2000. Vol. 77. N 22. P. 3550--3552
  5. Hoppe K., Fahrner W.R., Fink D., Dhamodoran S., Petrov A., Chandra A., Saad A., Faupel F., Chakravadhanula V.S.K., Zaporotchenko V. // Nucl. Instr. Meth. B. 2008. Vol. 266. P. 1642--1646
  6. Болтаев Х.Х., Ташмухамедова Д.А., Умирзаков Б.Е. // Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. 2014. N 4. С. 24--29
  7. Эргашов Ё.С., Ташмухамедова Д.А., Раббимов Э. // Поверхность. 2015. N 4. С. 38--43
  8. Нормурадов М.Т., Умирзаков Б.Е. Энергетические спектры поверхности твердых тел, имплантированных ионами низких энергий. Ташкент.: ФАН. 1989. 158 с

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.