Магнетронный источник ускоренного плазменного потока
Вересов Л.П.1, Вересов О.Л.1
1Сухумский физико-технический институт, Сухуми, Абхазия
Email: ol_veres@mail.ru
Поступила в редакцию: 16 февраля 2015 г.
Выставление онлайн: 20 декабря 2015 г.
Представлен новый источник ускоренного плазменного потока, предназначенный для нанесения качественных покрытий. В нем зажигается комбинация магнетронного разряда для распыления катодной мишени и высоковольтного разряда с продольной осцилляцией электронов для ионизации наработанного пара, плотность плазмы которого распределяется равномерно благодаря применению трехфазного ионизатора.
- Вересов Л.П., Вересов О.Л., Литвинов П.А. // ЖТФ. 2000. Т. 70. Вып. 4. С. 111--117
- Barchenko V.T., Veresov L.P., Veresov O.L., Grigorenko S.V. // 5th Int. Conference on Modification of Materials with Particle Beams and Plasma Flows. Tomsk, 2000. P. 220--223
- Вересов Л.П., Вересов О.Л., Кушакевич Ю.П., Петров Г.Ф., Чачаков А.Ф., Цеквава И.А. // Вакуумная техника и технология, 2008. Т. 18, N 4. С. 249--259
- Вересов Л.П., Вересов О.Л., Кушакевич Ю.П., Хупория А.Л., Чачаков А.Ф. // Труды 10й Международной конференции "Пленки и покрытия 2011". СПб., 2011. С. 217--219
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук