Влияние имплантации ионов активных металлов на элементный и химический составы поверхности CdTe
Мухтаров З.Э., Исаханов З.А., Умирзаков Б.Е., Кодиров Т., Эргашев Е.С.1
1Ташкентский государственный технический университет, Ташкент, Узбекистан
Email: isakhanov@aie.uz
Поступила в редакцию: 20 марта 2015 г.
Выставление онлайн: 19 ноября 2015 г.
Изучено влияние бомбардировки ионами Ar+ и Ba+ на состав и электронную структуру поверхности пленок CdTe. Определены оптимальные режимы ионной имплантации и отжига для получения нанопленки типа Cd0.5Ва0.5Te. Установлено, что значение Eg трехкомпонентной пленки при изменении ее толщины от 20 до 40 nm уменьшается от 1.9 до 1.7 eV.
- Lee C.H., Park S.W., Jaesun Lee, Moon Y.M. et al. // J. Electron. Mater. 1998. Vol. 27. N 6. P. 668
- Васильев В.В., Захарьяш Т.И., Кеслер В.Г., Парм И.О., Соловьев А.П. // ФТП. 2001. Т. 35. Вып. 2. С. 203--207
- Zhanabergenov Zh., Mirsagatov Sh.A., Karazhanov S.Zh., Muzaffarova S. // Technical Physics Letter. 2003. Vol. 29. N 11. P. 917--920
- Махний В.П. // ФТП. 2005. Т. 39. Вып. 7. С. 826--830
- Беляев А.П., Рубец В.П., Антипов В.В., Еремина Е.О. // ФТП. 2010. Т. 44. Вып. 7. С. 978--982
- Н.И. Клюй Н.И., Лозинский В.Б., Лукьянов А.Н., Мороженко В.А., Савкина Р.К. и др. // ЖТФ. 2012. Т. 82. Вып. 8. С. 83--86
- Herndon M.K., Gupta A., Kaydanov V.I., Collins R.T. // Appl. Phys. Lett. 1999. Vol. 75. P. 3503
- Музафарова С.А., Мирсагатов Ш.А., Жанабергенов Ж. // ФТТ. 2007. Т. 49. Вып. 6. С. 1111--1116
- Бабенцов В.Н., Байдуллаева А., Власенко А.И., Горбань С.И. и др. // ФТП. 1993. Т. 27. Вып. 10. С. 1618--1622
- Умирзаков В.Е., Ташмухамедова Д.А., Муродкобилов Д.М., Болтаев Х.Х. // ЖТФ. 2013. Т. 83. Вып. 6. С. 66--70
- Болтаев Х.Х., Ташмухамедова Д.А., Умирзаков Б.Е. // Поверхность. 2014. N 4. С. 24--29
- Umirzakova B.E., Tashmukhamedovab D.A., Ruzibaevaa M.K., Djurabekovac F.G., Danaevb S.B. // Nuclear Instr. And Mehods in Phys. Research Section B: Beam Inerac. With Materials and Atoms; 326. 02.2014. P. 322--325
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.