Журнал технической физики

Авторам

Правила оформления публикаций

Вышедшие номера

2024
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11
2023
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2022
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2021
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2020
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2019
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2018
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2017
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2016
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2015
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2014
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2013
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2012
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2011
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2010
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2009
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2008
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2007
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2006
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2005
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2004
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2003
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2002
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2001
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2000
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1999
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1998
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1997
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1996
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1995
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1994
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1993
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1992
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1991
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1990
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1989
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1988
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12

Роль эффекта перераспределения электрического поля в изменении характеристик открытых "сандвич"-структур металл-диэлектрик-металл под воздействием влаги

Мордвинцев В.М.¹, Левин В.Л.¹, Кудрявцев С.Е.¹, Цветкова Л.А.¹

¹Ярославский филиал Физико-технологического института РАН, Ярославль, Россия Institute of Physics and Technology, Yaroslavl Branch, Russian Academy of Sciences, Yaroslavl, Russia

Institute of Physics and Technology, Yaroslavl Branch, Russian Academy of Sciences, Yaroslavl, Russia

Email: Mordvintsev-Viktor@yandex.ru

Поступила в редакцию: 20 ноября 2014 г.

Выставление онлайн: 20 августа 2015 г.

PDF версия

Абстракт
Литература
Статистика просмотров

Приведены результаты численного моделирования эффекта перераспределения электрического поля в изолирующей щели открытой "сандвич"-структуры металл-диэлектрик-металл TiN-SiO₂-W при образовании на свободном торце диэлектрической пленки слоя с повышенной диэлектрической проницаемостью из-за поглощения влаги пористым диоксидом кремния, полученным плазмохимическим осаждением. Показано, что эффектом перераспределения электрического поля можно объяснить все наблюдающиеся экспериментально изменения электрических характеристик, вызванные воздействием влаги.

Валиев К.А., Левин В.Л., Мордвинцев В.М. // ЖТФ. 1997. Т. 67. Вып. 11. С. 39--44
Мордвинцев В.М., Кудрявцев С.Е., Левин В.Л. // Российские нанотехнологии 2009. Т. 4. N 1--12. С. 174--182
Мордвинцев В.М., Кудрявцев С.Е., Левин В.Л. // Российские нанотехнологии 2009. Т. 4. N 1--2. С. 183--191
Мордвинцев В.М., Шумилова Т.К. // Микроэлектроника. 1999. Т. 28. N 2. С. 122--133
Физические величины. Справочник / Под ред. И.С. Григорьева, Е.З. Мейлихова. М.: Энергоатомиздат, 1991. 1232 с
http://elcut.ru
Hashin Z., Shtrikman S. // J. Appl. Phys. 1962. Vol. 33. P. 3125--3131

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.

Учредители

Издатель