Плавление тонкой пленки алюминия на диэлектрической подложке при воздействии мощного ионного пучка
Ковивчак В.С.1, Панова Т.В.1, Бурлаков Р.Б.1
1Омский государственный университет им. Ф.М. Достоевского, Омск, Россия
Email: kvs@univer.omsk.su
Поступила в редакцию: 18 августа 2014 г.
Выставление онлайн: 20 мая 2015 г.
Исследовано воздействие мощного ионного пучка на тонкие пленки алюминия толщиной 0.3 и 1.9 mum, нанесенные на диэлектрические подложки из натрий- силикатного стекла и ситалла. Показаны основные этапы изменения поверхностной морфологии пленки, ее плавления и преобразования в массив отдельных частиц металла. Рассмотрены возможные механизмы наблюдаемых явлений.
- Модифицирование и легирование поверхности лазерными, ионными и электронными пучками / Под ред. Дж.М. Поута и др. М.: Машиностроение, 1987. 424 с
- Ковивчак В.С., Панова Т.В., Бурлаков Р.Б., Давлеткильдеев Н.А. // Письма в ЖТФ. 2008. Т. 34. Вып. 8. С. 85--91
- Ковивчак В.С., Дубовик В.И., Бурлаков Р.Б. // Поверхность. 2008. N 4. С. 9--11
- Goldstein J.I., Newbury D.E., Echlin P. et al. Scanning electron microscopy and X-ray microanalysis. NY: Kluwer Acad. / Plenum Publ., 2003. 689 p
- Буренков А.Ф., Комаров Ф.Ф., Кумахов М.А. и др. Таблицы параметров пространственного распределения ионно-имплантированных примесей. Минск, Белгосуниверситет, 1980. 352 с
- Pushkarev A.I., Isakova Yu.I.б Khailov I.P. // Laser Part. Beams. 2013. Vol. 31. P. 493--501
- Hwang S.-J., Nix W D., Joo Y-C. // Acta Mater. 2007. Vol. 55. P. 5297--5301
- Ковивчак В.С., Панова Т.В., Михайлов К.А. // Поверхность. 2012. N 1. С. 73--76
- Ковивчак В.С., Панова Т.В., Геринг Г.И. // Поверхность. 2007. N 4. С. 107--109
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.