Вышедшие номера
Твердые углеродные покрытия, наносимые методом импульсного сильноточного магнетронного распыления
Оскомов К.В.1, Соловьев А.А.1, Работкин С.В.1
1Институт сильноточной электроники СО РАН, Томск, Россия
Email: oskomov@lae.hcei.tsc.ru
Поступила в редакцию: 13 марта 2014 г.
Выставление онлайн: 19 ноября 2014 г.

Твердые (до 17 GPa) углеродные покрытия наносились на торцевые SiC-подшипники, используемые в жидкостных насосах, методом импульсного сильноточного магнетронного распыления графита. За счет этого удалось уменьшить коэффициент трения с 0.43 до 0.11 и скорость износа с 26 до 0.307 mum3N-1m-1, что увеличило срок службы подшипников примерно в 3 раза. Причиной осаждения твердых и износостойких углеродных покрытий является генерация плотной (до 1013 cm-3) плазмы.