Вышедшие номера
Рост и особенности формирования микроструктуры пленок YBCO, получаемых методом магнетронного напыления на подложках из фианита
Гапонов С.В.1, Гусев С.А.1, Дроздов Ю.Н.1, Мастеров Д.В.1, Павлов С.А.1, Парафин А.Е.1, Скороходов Е.В.1, Юнин П.А.1
1Институт физики микроструктур Российской академии наук, Нижний Новгород, Россия
Email: masterov@ipmras.ru
Поступила в редакцию: 6 декабря 2013 г.
Выставление онлайн: 19 сентября 2014 г.

Исследована зависимость электрофизических и структурных свойств пленок высокотемпературного сверхпроводника YBa2Cu3O7-delta, получаемых методом магнетронного напыления на фианите, от температуры роста. Методами сканирующей электронной микроскопии и рентгенофазового анализа показано, что на фианитовых подложках без дополнительного буферного слоя происходит послойно-островковый рост пленки YBa2Cu3O7-delta. Повышение температуры осаждения приводит к разделению растущей пленки на области с сильно различающейся микроструктурой. Области первого типа представляют собой высококачественный слой YBa2Cu3O7-delta, области второго типа - слой YBa2Cu3O7-delta с резко выраженными межгранульными границами, препятствующими протеканию тока.