Скорость травления кремния локализованным газовым разрядом
Абрамов А.В., Панкратова Е.А., Суровцев И.С.
Поступила в редакцию: 19 декабря 2013 г.
Выставление онлайн: 19 сентября 2014 г.
Представлены результаты исследований влияния на скорость травления кремния различных технологических, конструктивных и электрофизических параметров, характеризующих условия горения и свойства локализованного газового разряда. Эксперименты проводились при давлении газа 104-105 Pa и длине разрядного промежутка 50-500 mum. Показана эффективность применения метода эмиссионной спектроскопии для контроля момента начала и завершения травления слоев различных материалов локализованным газовым разрядом.
- Абрамов А.В., Дикарев Ю.И., Суровцев И.С. Патент РФ N 2091904. 1997
- Абрамов А.В., Абрамова Е.А., Суровцев И.С. // Письма в ЖТФ. 2001. Т. 27. Вып. 3. С. 45--48
- Абрамов А.В., Абрамова Е.А., Суровцев И.С. // ЖТФ. 2005. Т. 75. Вып. 7. С. 70--74
- Абрамов А.В., Панкратова Е.А., Суровцев И.С. // Вестник Воронежского гос. техн. ун-та. 2011. Т. 7. Вып. 11.3. С. 13--17
- Райзер Ю.П., Шнейдер М.Н., Яценко Н.А. Высокочастотный емкостной разряд: Физика. Техника эксперимента. Приложения. М.: Изд-во Московского физ.-техн. ин-та, 1995. 320 с
- Mogab C.J. // J. Electrochem. Soc. 1977. Vol. 124. Р. 1262--1268
- Данилин Б.С., Киреев В.Ю. Применение низкотемпературной плазмы для травления и очистки материалов. М.: Энергоатомиздат, 1987. 264 c
- Ефремов А.М., Юдина А.В., Мурин Д.Б., Дементьев О.С., Светцов В.И. // Химия высоких энергий. 2013. Т. 43. N 2. С. 147--151
- Григорьев Ю.Н., Горобчук А.Г. // Микроэлектроника. Т. 36. N 5. С. 368--379
- Орешникова Е.Г. Спектральный анализ. М.: Высшая школа, 1982. 375 с
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук