О диффузии ионов мышьяка и самодиффузии в кремнии при имплантации
Демаков К.Д.1, Старостин В.А.1, Шемардов С.Г.1
1Национальный исследовательский центр "Курчатовский институт", Москва, Россия
Email: vastarostin@mail.ru
Поступила в редакцию: 19 октября 2001 г.
Выставление онлайн: 19 сентября 2002 г.
Приведены экспериментальные профили концентрации ионов мышьяка в кремнии при температурах подложки 20, 600, 1050oC и токе ионов 40 muA / cm2, а также при 1050oC и токе ионов 10 muA / cm2. По этим профилям и по данным других экспериментов проведено моделирование процесса радиационно-ускоренной диффузии ионов и самодиффузии кремния. Получен ряд интересных закономерностей, приведенных в выводах работы.
- Гусев В.М., Бушаров Н.П., Нафтулин С.М., Проничев А.М. // ПТЭ. 1969. N 4. С. 19
- Старостин В.А. // ФиХОМ. 1999. N 5. С. 104--105
- Aleksandrov P.A., Baranova E.K., Beloshitsky V.V. et al. // Rad. Eff. 1986. Vol. 88. P. 249--255
- Демаков К.Д. Private communication
- Старостин В.А. Кинетика ионов иттербия, имплантируемых в кремний. Аннотация докл. XV Междунар. конф. "Взаимодействие ионов с поверхностью". (ВИП-2001). Звенигород, 2001. Т. 2. С. 201
- Назыров Д.Э., Гончаров С.А., Суворов А.В. // Письма в ЖТФ. 2000. Т. 26. Вып. 8. С. 24--27
- McCaldin J.O., Widmer A.E. // Proc. IEEE. 1964. Vol. 52. N 3. P. 301--302
- Uesugi F., Kikuchi Y., Watanabe K., Hashimoto I. // Phys. Stat. Sol. (a). 2000. Vol. 177. N 2. P. 331--339
- Gibbons J.F., Moll J.L., Meyer N.I. // Nucl. Instrum. \& Meth. 1965. Vol. 38. P. 165--168
- Александров П.А., Баранов Е.К., Демаков К.Д. и др. // ФТП. 1987. Т. 21. Вып. 5. С. 920--922
- Баранова Е.К. Private communication
- Демаков К.Д., Старостин В.А. // ЖТФ. 2001. Т. 71. Вып. 4. С. 128--129
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
