Журнал технической физики

Авторам

Правила оформления публикаций

Вышедшие номера

2024
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11
2023
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2022
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2021
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2020
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2019
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2018
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2017
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2016
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2015
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2014
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2013
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2012
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2011
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2010
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2009
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2008
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2007
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2006
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2005
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2004
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2003
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2002
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2001
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2000
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1999
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1998
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1997
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1996
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1995
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1994
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1993
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1992
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1991
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1990
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1989
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1988
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12

О диффузии ионов мышьяка и самодиффузии в кремнии при имплантации

Демаков К.Д.¹, Старостин В.А.¹, Шемардов С.Г.¹

¹Национальный исследовательский центр "Курчатовский институт", Москва, Россия National Research Center “Kurchatov Institute”, Moscow, Russia

Email: vastarostin@mail.ru

Поступила в редакцию: 19 октября 2001 г.

Выставление онлайн: 19 сентября 2002 г.

PDF версия

Абстракт
Литература
Статистика просмотров

Приведены экспериментальные профили концентрации ионов мышьяка в кремнии при температурах подложки 20, 600, 1050^oC и токе ионов 40 muA / cm², а также при 1050^oC и токе ионов 10 muA / cm². По этим профилям и по данным других экспериментов проведено моделирование процесса радиационно-ускоренной диффузии ионов и самодиффузии кремния. Получен ряд интересных закономерностей, приведенных в выводах работы.

Гусев В.М., Бушаров Н.П., Нафтулин С.М., Проничев А.М. // ПТЭ. 1969. N 4. С. 19
Старостин В.А. // ФиХОМ. 1999. N 5. С. 104--105
Aleksandrov P.A., Baranova E.K., Beloshitsky V.V. et al. // Rad. Eff. 1986. Vol. 88. P. 249--255
Демаков К.Д. Private communication
Старостин В.А. Кинетика ионов иттербия, имплантируемых в кремний. Аннотация докл. XV Междунар. конф. "Взаимодействие ионов с поверхностью". (ВИП-2001). Звенигород, 2001. Т. 2. С. 201
Назыров Д.Э., Гончаров С.А., Суворов А.В. // Письма в ЖТФ. 2000. Т. 26. Вып. 8. С. 24--27
McCaldin J.O., Widmer A.E. // Proc. IEEE. 1964. Vol. 52. N 3. P. 301--302
Uesugi F., Kikuchi Y., Watanabe K., Hashimoto I. // Phys. Stat. Sol. (a). 2000. Vol. 177. N 2. P. 331--339
Gibbons J.F., Moll J.L., Meyer N.I. // Nucl. Instrum. \& Meth. 1965. Vol. 38. P. 165--168
Александров П.А., Баранов Е.К., Демаков К.Д. и др. // ФТП. 1987. Т. 21. Вып. 5. С. 920--922
Баранова Е.К. Private communication
Демаков К.Д., Старостин В.А. // ЖТФ. 2001. Т. 71. Вып. 4. С. 128--129

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.

Учредители

Издатель