Вышедшие номера
О диффузии ионов мышьяка и самодиффузии в кремнии при имплантации
Демаков К.Д.1, Старостин В.А.1, Шемардов С.Г.1
1Национальный исследовательский центр "Курчатовский институт", Москва, Россия
Email: vastarostin@mail.ru
Поступила в редакцию: 19 октября 2001 г.
Выставление онлайн: 19 сентября 2002 г.

Приведены экспериментальные профили концентрации ионов мышьяка в кремнии при температурах подложки 20, 600, 1050oC и токе ионов 40 muA / cm2, а также при 1050oC и токе ионов 10 muA / cm2. По этим профилям и по данным других экспериментов проведено моделирование процесса радиационно-ускоренной диффузии ионов и самодиффузии кремния. Получен ряд интересных закономерностей, приведенных в выводах работы.