Правила подобия для плазмы кислородного разряда
Богданов Е.А., Колобов В.И., Кудрявцев А.А., Цендин Л.Д.1
1Санкт-Петербургский государственный технический университет, Санкт-Петербург, Россия
Email: akud@ak2138.spb.edu
Поступила в редакцию: 8 февраля 2002 г.
Выставление онлайн: 20 июля 2002 г.
В рамках fluid-модели выполнены симуляции ICP разряда в кислороде в широком диапазоне условий, типичных для работы коммерческих плазмохимических реакторов. Получены простые правила подобия, позволяющие по заданным внешним параметрам - произведению давления газа на характерный размер плазмы pL и удельной мощности W, вводимой в разряд, быстро оценить различные характеристики плазмы электроотрицательных газов.
- Lieberman M., Lichtenberg A. // Principles of Plasma Discharges and Materials Processing. New York: Wiley, 1994
- Rozhansky A.V., Tsendin L.D. // Transport Phenomena in Partially Ionized Plasma. London; New York: Taylor \& Francis, 2001
- Fransis G. Ionization Phenomena in Gases. London: Butt. Sci. Publ., 1960
- Lee C., Lieberman M.A. // J. Vac. Sci. Technol. 1995. Vol. A 13. N 2. P. 368
- Lichtenberg A.J., Vahedi V., Lieberman M.A. et al. // J. Appl. Phys. 1994. Vol. 75. P. 2339
- Lieberman M.A., Ashida S. // Plasma Sourses Sci. Technol. 1996. Vol. 5. P. 145
- Lichtenberg A.J., Lieberman M.A., Kouznetsov I.G. et al. // Plasma Sourses Sci. Technol. 2000. Vol. 9. P. 45
- Chung T.H. // J. Korean Phys. Soc. 1999. Vol. 34. P. 24
- Chung T.H., Yoon H.T., Seo D.C. // J. Appl. Phys. 1999. Vol. 86. P. 3537
- Seo D.C., Chung T.H. // J. Phys. D: Appl. Phys. 2001. Vol. 34. P. 2854
- Gudmindsson J.T., Marakhtanov A.M., Patel K.K. et al. // J. Phys. D. 2000. Vol. 33. P. 1323
- Gudmindsson J.T., Kouznetsov I.G., Patel K.K. et al. // J. Phys. D. 2001. Vol. 34. P. 1100
- Franklin R.N., Snell J. // J. Phys. D. 1999. Vol. 32. P. 2190
- Franklin R.N. // Plasma Sources Sci. Technol. 2001. Vol. 10. P. 174
- Franklin R.N. // J. Phys. D. 2001. Vol. 34. P. 1243
- Franklin R.N. // J. Phys. D. 2001. Vol. 34. P. 1834
- Tsendin L.D. // Sov. Phys. 1989. Vol. 34. P. 11
- Кудрявцев А.А., Цендин Л.Д. // ЖТФ. 1999. Т. 69. Вып. 1. С. 34
- CFD Research Corporation // CFD-PLASMA User Manual. Huntsville: CFD Research Corporation, 1999
- Yun S., Kolobov V.I., Tynan G.R. // Phys. Plasmas. 2001. Vol. 8. N 6. P. 3069--3076
- http://www.cfdrc.com/~cfdplasma
- Ivanov V.V., Klopovsky K.S., Lopaev D.V. et al. // IEEE Trans. Plasma Sci. 1999. Vol. 27. P. 1279
- Buddemeier U. // Ph. D. Thesis. Ruhr. University, 1997
- Berezhnoy S.V., Shin C.B., Buddemeier U. et al. // Appl. Phys. Lett. 2000. Vol. 77. P. 800
- Oskam H.J. // Philips Res. Repts. 1958. Vol. 13. P. 335
- Tompson J.B. // Proc. Phys. Soc. 1959. Vol. 73. P. 818
- Daniels P.R., Franklin R.N. // J. Phys. D. 1989. Vol. 22. P. 780
- Bogdanov E.A., Kudryavtsev A.A. // Tech. Phys. Lett. 2001. Vol. 27. P. 905
- Ferreira C.M., Gousset G., Touzeau M. // J. Phys. D. 1988. Vol. 21. P. 1403
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук