Осаждение пленок a-C : H в тлеющем разряде на постоянном токе с областью магнетронной плазмы, локализованной вблизи анода
Коншина Е.А.1
1Всероссийский научный центр "Государственный оптический институт им. С.И. Вавилова", Санкт-Петербург, Россия
Email: konshina@soi.spb.su
Поступила в редакцию: 23 марта 2001 г.
Выставление онлайн: 20 мая 2002 г.
Многоэлектродная система для химического осаждения паров в плазме тлеющего разряда на постоянном токе с областью скрещенных магнитного и электрического полей была использована для получения пленок a-C : H. Исследованы вольт-амперные характеристики разряда в интервале дпвлений в вакуумной камере от 0.004 до 0.1 Pa и влияние на них магнитного поля. Изучено влияние мощности тлеющего разряда, давления паров углеводорода, проводимости материала подложки и ее потенциала, а также добавления инертного газа на скорость осаждения пленок a-C : H. Полученные результаты обсуждены в рамках представлений об адсорбционном механизме конденсации пленок в плазме. Дан краткий анализ влияния скорости осаждения на свойства пленок.
- Anderson I.P., Berg S., Norstrom H. et al. // Thin Solid Films. 1979. Vol. 63. P. 155--157
- Whitmel D.S., Williamson R. // Thin Solid Films. 1976. Vol. 35. N 2. P. 255--261
- Holland L., Ojha S.M. // Thin Solid Films. 1979. Vol. 58. N 1. P. 107--116
- Discler B., Bubenzer A., Koidl P. // Solid State Comm. 1983. Vol. 48. N 2. P. 105--108
- Jones D.I., Stewart A.D. // Phil. Mag. B. 1982. Vol. 45. N 5. P. 432--434
- Enke K., Dimigen H., Hubach H. // Appl. Phys. Lett. 1980. Vol. 36. N 4. P. 291--292
- Watanabe I., Hasegawa S., Kurata Y. // Jap. J. Appl. Phys. 1982. Vol. 21. N 6. P. 856--859
- McKenzie D.R., McPhedran R.C., Cockayne D.J.H. // Thin Solid Films. 1983. Vol. 106. N 3. P. 247--256
- Meyerson B., Smith F.W. // Non-Crystal Solids. 1980. Vol. 35/36. P. 435--440
- Балаков А.В., Коншина Е.А. // ЖТФ. 1982. Т. 52. Вып. 4. С. 810--811
- Mori T., Namba Y. // J. Vac. Sci. Technol. A. 1983. Vol. 1. P. 23--27
- Weismantel C., Bewilogua K., Bzeuer K. et al. // Thin Solid Films. 1982. Vol. 96. N 1. P. 31--44
- Коншина Е.А., Толмачев В.М., Вангонен А.И., Фаткулина Д.А. // Оптический журнал. 1997. Т. 64. N 5. С. 88--95
- Jacob W. // Thin Solid Films. 1998. Vol. 326. P. 1--42
- Коншина Е.А. // ОМП. 1987. N 2. С. 15--18
- Ludwig M. // Appl. Opt. 1986. Vol. 25. N 22. P. 3977--3979
- Коншина Е.А., Толмачев В.А. // ЖТФ. 1995. Т. 65. N. 1. С. 175--178
- Tolmachev V.A., Konshina E.A. // D \& RM. 1996. Vol. 5. N 12. P. 1397--1401
- Коншина Е.А. // ФТП. 1999. Т. 33. Вып. 3. С. 469--475
- Коншина Е.А. // ЖТФ. 2000. Т. 70. Вып. 3. С. 87--89
- Konshina E.A., Feoktistov N.A. // J. Phys. D. Appl. Phys. 2001. Vol. 34. P. 1131--1136
- Коншина Е.А. // ЖТФ. 1998. Т. 68. Вып. 9. С. 59--66
- Коншина Е.А. // Кристаллография. 1995. Т. 40. N 6. С. 1074--1076
- Коншина Е.А., Толмачев В.М., Вангонен А.И. // Кристаллография. 1998. Т. 43. N 1. С. 107--110
- Коншина Е.А., Вангонен А.И. // Оптический журнал. 1998. Т. 65. N 7. С. 39--42
- Коншина Е.А., Онохов А.П. // ЖТФ. 1999. Т. 69. Вып. 3. С. 80--81
- Onokhov A.P., Konshina E.A., Feoktistov N.A. et al. // Ferroelectrics. 2000. Vol. 246. P. 259--268
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук