Влияние длины волны ультрафиолетового облучения на свойства контакта цирконий--кремний
Нуприенок И.С.1, Шибко А.Н.1
1Институт электроники НАН Белоруссии, Минск, Белоруссия
Email: inel@inel.bas-net.by
Поступила в редакцию: 13 декабря 2000 г.
Выставление онлайн: 20 августа 2001 г.
Исследовано влияние ультрафиолетового облучения при термической обработке на контакт цирконий-кремний. Определено, что изменение фазового состава контакта обусловливает изменение электрофизических параметров. Применение комбинированной обработки позволяет формировать выпрямляющий контакт цирконий-кремний с определенными, заранее заданными электрофизическими параметрами.
- Алимов Д.Т., Тюгай В.К., Хабибулаев П.К. и др. // Журн. физ. хим. 1987. Т. 61. Вып. 11. С. 3065--3067
- Чапланов А.М., Шибко А.Н. // Квантовая электрон. 1993. Т. 20. N 2. C. 191--193
- Чапланов А.М., Шибко А.Н. // Изв. АН СССР. Сер. физ. 1989. Т. 53. N 6. C. 1111--1114
- Технология тонких пленок. Справочник / Под ред. Л. Майселла, М. Гленга. М.: Сов. радио, 1977. Т. 1. 664 с
- Родерик Э.Х. Контакты металл--полупроводник. М.: Радио и связь, 1982. 208 с
- Калверт Дж. Фотохимия. М.: Мир, 1968. 671 с
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук