Журнал технической физики
Авторам
Вышедшие номера
- 2024
- 2023
- 2022
- 2021
- 2020
- 2019
- 2018
- 2017
- 2016
- 2015
- 2014
- 2013
- 2012
- 2011
- 2010
- 2009
- 2008
- 2007
- 2006
- 2005
- 2004
- 2003
- 2002
- 2001
- 2000
- 1999
- 1998
- 1997
- 1996
- 1995
- 1994
- 1993
- 1992
- 1991
- 1990
- 1989
- 1988
Генерация и накопление дислокаций на поверхности кремния при воздействии импульсно-периодического излучения YAG : Nd лазера
1Институт проблем лазерных и информационных технологий РАН, Шатура, Россия 
Поступила в редакцию: 26 сентября 2000 г.
Выставление онлайн: 20 июля 2001 г.
Исследуется твердофазное разрушение поверхности кремния, связанное с генерацией и накоплением дислокаций при импульсно-периодическом воздействии излучения YAG : Nd лазера. Получены зависимости критического числа лазерных импульсов, приводящих к разрушению поверхности, от плотности мощности и периода следования. Приводится интерпретация полученных результатов с позиций механизмов лазерной генерации и накопления дислокаций в поверхностном слое полупроводников.
- Вейко В.П., Метев С.М. Лазерные технологии в микроэлектронике. София: Изд-во Болгарской академии наук, 1991. 363 с
- Карпов С.Ю., Ковальчук Ю.В., Погорельский Ю.В. // Итоги науки и техники. Сер. "Физические основы лазерной и пучковой технологии". 1988. Т. 1. С. 5--48
- Бойко В.И., Лукьянчук Б.С., Царев Е.Р. // Труды ИОФАН. 1991. Т. 30. С. 6
- Володин Б.Л., Емельянов В.И., Шлыков Ю.Г. // Квантовая электрон. 1993. Т. 20. N 1. С. 57
- Emel'yanov V.I., Kashkarov P.K. // Appl. Phys. A. 1992. Vol. 55. P. 161
- Вейко В.П., Имас Я.А., Либенсон М.Н. и др. // Изв. АН СССР. Сер. физ. 1985. Т. 49. N 6. С. 1236
- Banishev A.F., Emel'yanov V.I., Novikov M.M. // Laser Physics. 1992. Vol. 2. N 2. P. 178
- Луфт Б.Д., Перевозчиков В.А. и др. Физико-химические методы обработки поверхности полупроводников / Под ред. Б.Д. Луфт. М.: Радио и связь, 1982. 136 с
- Банишев А.Ф., Новикова Л.В. // Физика и химия обработки материалов. 1992. N 4. С. 55
- Банишев А.Ф., Емельянов В.И., Володин Б.Л., Мерзляков К.С. // ФТТ. 1990. Т. 32. С. 2529
- Демчук А.В., Данилович Н.И., Лабунов В.А. // Поверхность. Физика, химия, механика. 1985. Вып. 11. С. 26
- Винценц С.В., Дмитриев С.Г., Шагимуратов О.Г. // ФТТ. 1996. Т. 38. Вып. 4. С. 993
- Михнович В.В., Фирсова Т.В. // ФТП. 1990. Т. 24. Вып. 1. С. 181
- Дж. Эшелби. Континуальная теория дислокаций. М.: ИЛ, 1963
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
