Журнал технической физики

Авторам

Правила оформления публикаций

Вышедшие номера

2025
- 1 2 3 4
2024
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2023
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2022
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2021
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2020
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2019
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2018
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2017
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2016
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2015
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2014
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2013
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2012
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2011
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2010
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2009
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2008
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2007
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2006
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2005
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2004
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2003
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2002
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2001
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2000
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1999
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1998
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1997
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1996
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1995
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1994
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1993
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1992
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1991
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1990
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1989
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1988
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12

Формирование развитой морфологии на поверхности фосфида индия при распылении ионными пучками аргона

Сошников И.П., Лунев А.В., Гаевский М.Э., Нестеров С.И., Кулагина М.М., Роткина Л.Г., Барченко В.Т., Калмыкова И.П., Ефимов А.А., Горбенко О.М.¹

¹Институт аналитического приборостроения Российской академии наук, Санкт-Петербург, Россия Institute for Analytical Instrumentation of the Russian Academy of Sciences, Saint Petersburg, Russia

Institute for Analytical Instrumentation of the Russian Academy of Sciences, Saint Petersburg, Russia

Email: ipsosh@beam.ioffe.rssi.ru

Поступила в редакцию: 12 сентября 2000 г.

Выставление онлайн: 19 июня 2001 г.

PDF версия

Проведены исследования самоорганизующихся поверхностных структур InP, образующихся при распылении монохроматичными пучками ионов аргона с энергией от 0.1 до 15 keV. Показано, что обработка аргоновыми пучками поверхности InP может приводить к образованию морфологий "грасс" или "конус в лунке". Для объяснения формирования рельефа предложена качественная модель, включающая процессы распыления, каскадного перемешивания и поверхностного транспорта. Предложенная модель предсказывает правильный характер зависимости плотности и размеров морфологических элементов от флюенса. Кроме того, модель позволяет объяснить возникновение граничных условий образования морфологий "грасс" и "конус/группа конусов в лунке", а также влияние на них (граничные условия) температуры мишени. Показано, что наличие границ областей травления может приводить к возникновению частичной анизотропии в структуре морфологии. В частности, применение регулярных полосчатых масок при травлении позволяет сформировать морфологию со структурой текстурного типа.

Joannopoulos J., Meade R., Winn J. // Photonic Crystals. Princeton University Press, 1995
Yablonovitch E. // J. Mod. Opt. 1994. Vol. 41. P. 173--178
Malherbe J.B. // Critical Reviews in Solid State and Materials Sciences. 1994. Vol. 19. N. 2/3. P. 55--196
Wada O. // J. Phys. D. 1984. Vol. 17. P. 2429--2434
Soshnikov I.P., Lunev A.V., Gaevski M.E. et al. // Proc. SPIE Symp. on Microlitograhy. 1997. Vol. 3048. P. 404--407
Сангвал К. // Травление кристаллов: теория, эксперимент, практика. М.: Мир., 1990
Soshnikov I.P., Lunev A.V., Kudryavtsev Yu.A., Bert N.A. // Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B. 1996. Vol. 59/60. P. 115--118
Сошников И.П., Берт Н.А. // ФТТ. 1993. Т. 35. Вып. 9. С. 2250--2508
Сошников И.П., Берт Н.А. // ЖТФ. 1996. Т. 66. Вып. 6. С. 84--89
Comas J., Cooper C.B. // J. Appl. Phys. 1967. Vol. 38. P. 2956--2963
Bhattacharya S.R., Ghose D., Basu D. / Nucl. Instrum Meth in Phys. Res. B. 1990. Vol. 47. P. 253--9
Барченко В.Т., Соколовский А. // Изв. ЛЭТИ. Л. ЛЭТИ. 1982. Вып. 303. С. 42--56
Landolt-B ornstein. Num. Data and Functional Relationships in Science and Technology. Soringer Verlag, 1982. Vol. 17e
Gorbenko O.M., Kurochkin D.V., Golubok A.O. // Proc. 1^st Intern. Conf. on Digital Signal Processing and its Application. Moscow, 1998. Vol. 3. P. 197--198
Carter G. // Erosion and Growth of Solids Simulated by Atom and Ion Beams. / Ed. G. Kirikidis, G. Garter, J.L. Whitton. Martinus Nijhof. Publ., 1986
Stepanova M.G. / Proc. 3^rd Intern. Conf. on Computer Semulation of Radiation Effects in Solids (COSIRES'96). Guildford (UK): Univ. of Surrey, 1996. Vol. 1. P. 85--91
Кукушкин С.А., Слезов В.В. // Дисперсные системы на поверхности твердых тел. СПб.: Наука, 1996

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.

Учредители

Издатель