Вышедшие номера
Механизм водного дотравливания пористого кремния n-типа проводимости в электрическом поле
Костишко Б.М.1, Нагорнов Ю.С.1
1Ульяновский государственный университет, Ульяновск, Россия
Email: Kost@sv.uven.ru
Поступила в редакцию: 11 октября 2000 г.
Выставление онлайн: 19 июня 2001 г.

Приведены результаты исследования процесса водного дотравливания пористого кремния во внешнем электрическом поле. Показано, что наложение электрического поля независимо от его ориентации и величины приводит к уменьшению скорости дотравливания. Обнаружено, что при ориентации вектора напряженности электрического поля от поверхности пористого слоя к объему образца происходит резкое изменение электродного потенциала в системе кремний-электролит, а при превышении E>6 kV/cm изменения становятся периодическими. Экспериментальные данные подтверждают существование циклического тока в системе монокремний-электролит-квантовые нити.