Изменение фазового состава и электрофизических свойств контакта титан-кремний при облучении азотводородной плазмой
Чапланов А.М.1, Щербакова Е.Н.1
1Институт электроники АН Белоруссии, Минск, Белоруссия
Email: chap@inel.bas-net.by
Поступила в редакцию: 22 июня 1999 г.
Выставление онлайн: 19 сентября 2000 г.
Методами электронографии и электронной оже-спектроскопии исследованы фазовые превращения в системе титан-кремний при обработке в азотводородной плазме. Определены оптимальные режимы формирования тонких пленок TiN на кремнии. Показано, что имеют место уменьшение высоты барьера Шоттки и увеличение практически на порядок пробивного напряжения контактов, обработанных азотводородной плазмой, по сравнению с исходными образцами. Установлены зависимости электрофизических свойств контактов от параметров обработки азотводородной плазмой.
- Wang Shi-Qing, Raaijmakers Ivo, Burrov Brad J. // J. Appl. Phys. 1990. Vol. 68. N 10. P. 5176--5187
- Kim Do-Heyoung, Kim Ki-Bum. // Appl. Phys. Lett. 1996. Vol. 69. N 27. P. 4182--4184
- Olowolafe J.O., Li Jian, Colgan F.G. // Appl. Phys. Lett. 1991. Vol. 58. N 5. P. 469--471
- Зи С. Физика полупроводниковых приборов. М.: Мир, 1984. 456 с
- Родерик Э.Х. Контакты металл--полупроводник. М.: Радио и связь, 1982. 208 с
- Арзамасов Б.Н. Химико-термическая обработка металлов в активизированных газовых средах. М.: Машиностроение, 1979. 224 с
- Тилл У., Лаксон Д. Интегральные схемы: материалы, приборы, изготовление. М.: Мир, 1985. 501 с
- Тонкие пленки. Взаимная диффузия и реакции / Под ред. Дж. Поута. М.: Мир, 1982. 576 с
- Мьюрарка Ш. Силициды для СБИС. М.: Мир, 1986. 176 с
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук