"Журнал технической физики"
Издателям
Вышедшие номера
Влияние легирующей примеси на текстуру пленок поликристаллического кремния, полученных в процессе молекулярно-лучевого осаждения
Грачева Т.А.1, Малыгин Н.Д.1, Шенгуров Д.В.1, Шенгуров В.Г.1
1Научно-исследовательский физико-технический институт Нижегородского государственного университета им. Н.И. Лобачевского, Нижний Новгород, Россия
Email: shengurov@phys.unn.runnet.ru
Поступила в редакцию: 16 февраля 2000 г.
Выставление онлайн: 20 августа 2000 г.

Установлены закономерности изменения текстуры пленок поликристаллического кремния от сорта легирующей примеси и температуры роста.
  1. Kung K.T.-Y., Reif R. // J. Appl. Phys. 1987. T. 62. P. 1503
  2. Kung K.T.-Y., Reif R. // J. Appl. Phys. 1988. T. 63. P. 2131
  3. Павлов Д.А., Шенгуров В.Г., Шенгуров Д.В., Хохлов А.Ф. // ФТП, 1995. Т. 29. С. 286
  4. Шенгуров Д.В. // Письма в ЖТФ. 1997. Т. 23. С. 83
  5. Шенгуров Д.В., Павлов Д.А., Шабанов В.Н. и др. // ФТП, Т. 32. С. 627
  6. Sakai A., Tatsumi T., Isnida K. // Phys. Rev. B. 1993. Vol. 47. P. 6803

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.