Эмиссия заряженных кластеров при ионном распылении металла
Матвеев В.И.1
1Отдел теплофизики АН Узбекистана, Ташкент, Узбекистан
Email: matveev@vict.silk.org
Поступила в редакцию: 24 мая 1999 г.
Выставление онлайн: 20 июля 2000 г.
Предложен метод расчета процессов распыления металла в виде больших нейтральных и заряженных кластеров с числом атомов N<=5 при ионной бомбардировке, основанный на простых физических предположениях и находящийся в неплохом согласии с экспериментом. В качестве примера рассчитаны степени и коэффициенты ионизации, а также относительные выходы кластеров в зависимости от числа атомов в составе кластеров при бомбардировке различных металлов (Ag, Nb и Ta) однозарядными ионами Ar+1 и Au-1. Развит флуктуационный механизм формирования зарядового состава больших кластеров, позволящий описать зависимости зарядовых распределений от размеров кластеров и температуры мишени.
- Фундаментальные и прикладные аспекты распыления твердых тел. Сб. статей / Под ред. Е.С. Машковой. Пер. с англ. М.: Мир, 1989. 399 с
- Andersen H.H. // K. Dan. Vidensk. Selsk. Mat. Fys. Medd. 1993. Vol. 43. P. 127--153
- Urbassek H.M., Hofer W.O. // K. Dan. Vidensk. Selsk. Mat. Fys. Medd. 1993. Vol. 43. P. 97--126
- Баранов И.А., Мартыненко Ю.В., Цепелевич С.О., Явлинский Ю.Н. // УФН. 1988. Т. 156. С. 478--513
- Betz G., Wien K. // Intern. J. Mass Spectrometry and Ion Proc. 1994. Vol. 140. P. 1--110
- Sigmund P. // Phys. Rev. 1969. Vol. 184. P. 383--416
- Wucher A., Garrison B.Y. // J. Chem Phys. 1996. Vol. 105. P. 5999--6007
- Colla Th.J., Urbassek H.M., Wucher A. et al. // Nucl. Instrum. Meth. 1998. Vol. 143. P. 284--297
- Yu M.L. // Topics of Appl. Phys. Sputtering by Particle Bombardment III / Ed. R. Behrisch, K. Wittmaack. Springer Verlag, 1991. P. 91--160
- Wahl W., Wucher A. // Nucl. Instrum. Meth. 1994. Vol. 94. P. 36--42
- Ferleger V.Kh., Medvedeva M.B., Wojciechowski I.A. // Nucl. Instrum. Meth. 1997. Vol. B 125. P. 214--217
- Матвеев В.И., Хабибуллаев П.К. // ДАН. 1998. Т. 362. N 2. С. 191--193
- Матвеев В.И., Белых С.Ф., Веревкин И.В. // ЖТФ. 1999. Т. 69. С. 64--68
- Добрецов Л.Н., Гомоюнова М.В. Эмиссионная электроника. М.: Наука, 1966. 564 с
- Ландау Л.Д., Лифшиц Е.М. Статистическая физика. Ч. 1. М.: Наука, 1964. 567 с
- Киттель Ч. Введение в физику твердого тела. М.: Наука, 1978. 792 с
- Belykh S.P., Rasulov U.Kh., Samartsev A.V., Veryovkin I.V. // Nucl. Instrum. Meth. 1998. Vol. B 136--138. P. 773--778
- Belykh S.F., Rasulov U.Kh., Samartsev A.V. et al. // Mikrochimica Acta. Suppl. 1998. Vol. 15. P. 379--384
- Wucher A., Wahl W. // Nucl. Instrum. Meth. 1996. Vol. B115. P. 581--589
- Belykh S.F., Habets B., Rasulov U.Kh. et al. // Abstract Book of SIMS Europe. Muenster (Germany), 1998. P. 5
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2025 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук