Моделирование процессов плавления и кристаллизации монокристаллического кремния при воздействии наносекундного лазерного излучения
Жвавый С.П.1
1Институт электроники АН Белоруссии, Минск, Белоруссия
Поступила в редакцию: 12 октября 1998 г.
Выставление онлайн: 20 июля 2000 г.
Проведено численное моделирование процессов плавления и кристаллизации монокристаллического кремния при воздействии на его поверхность наносекундного излучения рубинового лазера с учетом кинетики фазовых превращений на основе уравнения Колмогорова. Для описания фазовых переходов привлекался двухмерный механизм зародышеобразования и роста новой фазы. Показано, что временные зависимости степени перегрева монокристалла и переохлаждения жидкой фазы соответственно на стадиях плавления и кристаллизации кремния носят немонотонный характер и определяются кинетикой фазовых превращений. Максимальные значения степени перегрева и переохлаждения составляют ~100 K.
- Wood R.F., Giles G.E. // Phys. Rev. B. 1981. Vol. 23. P. 2923--2942
- Lowndes D.H., Wood R.F., Narayan J. // Phys. Rev. Lett. 1984. Vol. 52. P. 561--564
- Пилипович В.А., Малевич В.Л., Ивлев Г.Д., Жидков В.В. // ИФЖ. 1985. Т. 48. N 2. С. 306--312
- Gusakov G.M., Komarnitskii A.A., Em A.S. // Phys. St. Sol. (a). 1988. Vol. 107. P. 261--271
- Jellison G.E.(Jr.), Lowndes D.H., Mashburn D.N., Wood R.F. // Phys. Rev. B. 1986. Vol. 34. N 4. P. 2407--2415
- Аверьянова М.Ю., Карпов С.Ю., Ковальчук Ю.В. и др. // Письма в ЖТФ. 1986. Т. 12. Вып. 18. С. 1119--1123
- Cullis A.G., Weber H.C., Chew N.G. et al. // Phys. Rev. Lett. 1982. Vol. 49. P. 219--221
- Wood R.F., Geist G.A. // Phys. Rev. B. 1986. Vol. 34. N 4. P. 2606--2620
- Баландин В.Ю., Двуреченский А.В., Александров Л.Н. // Поверхность. Физика, химия, механика. 1986. N 1. С. 53--60
- v Cerny R., v Sav sik R., Lukev s I., Chab V. // Phys. Rev. B. 1991. Vol. 44. N 9. P. 4097--4102
- Александров Л.Н. Кинетика кристаллизации и перекристаллизации полупроводниковых пленок. Новосибирск: Наука, 1985. 224 с.
- Беленький В.З. Геометрико-вероятностные модели кристаллизации. М.: Наука, 1989. 88 с
- Скрипов В.П., Коверда В.П. Спонтанная кристаллизация переохлажденных жидкостей. М.: Наука, 1984. 232 с
- Жвавый С.П. // ЖПС. 1989. Т. 50. N 4. С. 589--595
- Жвавый С.П., Садовская О.Л. // Поверхность. Физика, химия, механика. 1990. N 11. С. 101--106
- Френкель Я.И. Кинетическая теория жидкостей. Л.: Наука, 1975. 592 с
- Фольмер М. Кинетика образования новой фазы. М.: Наука, 1986. 208 с
- Александров Л.Н. Кинетика образования и структуры твердых слоев. Новосибирск: Наука, 1972. 227 с
- Регель А.Р., Глазов В.М. Физические свойства электронных расплавов. М.: Наука, 1980. 296 с
- Bell A.E. // RCA Review. 1979. Vol. 40. N 3. P. 295--338
- Toulemonde M., Unamuno S., Heddache R. et al. // Appl. Phys. A. 1985. Vol. 36. N 1. P. 31--36
- Andra G., Geiler H.-D., Gotz G. et al. // Phys. St. Sol. 1982. Vol. 74(a). N 2. P. 511--515
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук