Вышедшие номера
Моделирование процессов плавления и кристаллизации монокристаллического кремния при воздействии наносекундного лазерного излучения
Жвавый С.П.1
1Институт электроники АН Белоруссии, Минск, Белоруссия
Поступила в редакцию: 12 октября 1998 г.
Выставление онлайн: 20 июля 2000 г.

Проведено численное моделирование процессов плавления и кристаллизации монокристаллического кремния при воздействии на его поверхность наносекундного излучения рубинового лазера с учетом кинетики фазовых превращений на основе уравнения Колмогорова. Для описания фазовых переходов привлекался двухмерный механизм зародышеобразования и роста новой фазы. Показано, что временные зависимости степени перегрева монокристалла и переохлаждения жидкой фазы соответственно на стадиях плавления и кристаллизации кремния носят немонотонный характер и определяются кинетикой фазовых превращений. Максимальные значения степени перегрева и переохлаждения составляют ~100 K.