Корреляция электрических и оптических свойств пленок a-C : H
Коншина Е.А.1
1Всероссийский научный центр "ГОИ им. С.И. Вавилова" Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 6 октября 1998 г.
Выставление онлайн: 18 февраля 2000 г.
Исследованы пленки a-C : H, осажденные из паров чистого ацетилена в плазме тлеющего разряда на постоянном токе. Получены зависимости плотности тока от прикладываемого напряжения в структурах прозрачный проводящий электрод/a-C : H/ртутный контакт. Установлена зависимость удельного сопротивления пленок a-C : H от скорости их осаждения. Проанализировано соотношение удельного сопротивления с коэффициентом поглощения на длине волны 632.8 nm и шириной оптической щели пленок a-C : H.
- Коншина Е.А., Онохов А.П. // ЖТФ. 1999. Т. 69. Вып. 3. С. 80--81
- Robertson J. // Thin Solid Films. 1997. Vol. 296. P. 61--65
- Балаков А.В., Коншина Е.А. // ЖТФ. 1982. Т. 52. Вып. 4. С. 810--811
- Egret S., Robertson J., Milne W.I., Clough F.J. // Diamond \& Related Materials. 1997. Vol. 6. P. 879--883
- Коншина Е.А. // ФТТ. 1995. Т. 37. Вып. 4. С. 1120--1125
- Коншина Е.А., Толмачев В.А. // ЖТФ. 1995. Т. 65. Вып. 1. С. 175--178
- Tolmachev V.A., Konshina E.A. // Diamond \& Related Materials. 1996. Vol. 5. N 12. P. 1397--1401
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук