Исследование поверхностных и объемных дефектов в углероде и кремнии методами автоионной и сканирующей туннельной микроскопии
Суворов А.Л.1, Чеблуков Ю.Н.1, Лазарев Н.Е.1, Бобков А.Ф.1, Попов М.О.1, Бабаев В.П.1
1Институт теоретической и экспериментальной физики, Москва, Россия
Поступила в редакцию: 28 сентября 1998 г.
Выставление онлайн: 18 февраля 2000 г.
Методами автоионной и сканирующей туннельной микроскопии проведено параллельное комплексное исследование поверхностных и объемных дефектов в углероде и кремнии. Образцы облучались ионами He+, Ar+ и Bi+ с энергиями 20-30 keV при комнатной температуре. Флюенсы облучения составили 1018-1020 ion/m2. Установленные параметры обедненных зон и каскадов атомных смещений сравниваются с теоретическими оценками. Показано, что дозированная ионная бомбардировка поверхности материалов может быть использована как эффективная радиационная технология приготовления автоэмиссионных катодов для целей вакуумной микроэлектроники.
- Мюллер Э.В., Цонг Т.Т. Автоионная микроскопия. Принципы и приложения. М.: Металлургия, 1972. 360 с
- Binnig G., Rohrer H. // Rev. Mod. Phys. 1987. Vol. 59. P. 615
- Proc. of 42nd Intern. Field Emission Symposium. Appl. Surf. Sci. 1996. Vol. 94/95. P. 1--496
- Proc. of 43rd Intern. Field Emission Symposium. // J. de Physique IV. 1996. Vol. 6. Cooloque C5. Suppl. JP III. N 9. P. 5-5--5-308
- Sakurai T., Hashisume T., Kamiya I. et al. // Progress Surf. Sci. 1990. Vol. 33. N 1. P. 3--88
- Миллер М., Смит Г. Зондовый анализ в автоионной микроскопии. М.: Мир, 1993. 331 с
- Суворов А.Л. Автоионная микроскопия радиационных дефектов в металлах. М.: Энергоиздат, 1982. 167 с
- Суворов А.Л. Структура и свойства поверхностных атомных слоев металлов. М.: Энергоатомиздат, 1990. 296 с
- Kemmer H., Grafstrom S., Neitzert M. et al. // Ultramicroscopy. 1992. Vol. 42--44. P. 1345
- Matsukawa T., Suzuki S., Fukai T. et al. // Appl. Surf. Sci. 1996. Vol. 107. P. 227
- Свойства углеродных конструкционных материалов. Справочник / Под ред. В.П. Соседова. М.: Металлургия, 1975. 175 с
- Levets V.V., Beklmishev V.I., Loginov B.A. et al. // Jap. J. Appl. Phys. 1965. Vol. 34. Pt 1. N 4a. P. 1723
- Кирсанов В.В., Суворов А.Л., Трушин Ю.В. Процессы радиационного дефектообразования в металлах. М.: Энергоатомиздат, 1985. 272 с
- Долин Д.Е., Сосунов А.А., Суворов А.Л., Шешин Е.П. // ЖТФ. 1990. Т. 60. Вып. 12. С. 115--121
- Суворов А.Л., Соколов А.Г. // Кристаллография. 1975. Т. 20. С. 379--383
- Brodie I., Spindt C. // Adv. Electron. Electron. Phys. 1992. Vol. 83. P. 1
- Суворов А.Л., Шешин Е.П., Протасенко В.В. и др. // ЖТФ. 1996. Т. 66. Вып. 7. С. 156--160
- Андерсен Х., Бай Х. // Распыление твердых тел ионной бомбардировкой / Под ред. Р. Бериша. М.: Мир, 1984. Т. 1. Гл. 4. С. 194--280
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук