Амплитуда и форма резонансов Фабри--Перо в лазерной интерференционной термометрии полупроводников и диэлектриков
Магунов А.Н.1, Меркулов С.В.1
1Институт микроэлектроники РАН, Ярославль, Россия
Поступила в редакцию: 16 июня 1998 г.
Выставление онлайн: 20 января 2000 г.
Определены возможности наиболее чувствительного метода лазерной термометрии прозрачных и полупрозрачных пластин при изменении условий зондирования и оптических свойств поверхности. Изучены зависимости контраста интерференции света в пластинах от диаметра зондирующего лазерного пучка, угла падения света на поверхность, шероховатости поверхности и наличия на ней просветляющих или отражающих пленок. Обнаружено влияние поперечного градиента температуры в пластине на контраст. Измерения проведены для монокристаллов кремния и оптического стекла К-8.
- Магунов А.Н. // ПТЭ. 1998. N 3. С. 6
- Anderson R.L. // Proc. SPIE. 1990. Vol. 1392. P. 437
- Saenger K.L., Tong F., Logan J.S., Holber W.M. // Rev. Sci. Instr. 1992. Vol. 63. N 8. P. 3862
- Магунов А.Н., Гасилов А.Ю. // Микроэлектроника. 1997. Т. 26. N 5. С. 384
- Bond R.A., Dzioba S., Naguib H.M. // J. Vac. Sci. Technol. 1981. Vol. 18. N 2. P. 35
- Магунов А.Н., Мудров Е.В. // Теплофиз. выс. темпер. 1992. Т. 30. N 2. С. 372
- Magunov A.N. // Proc. SPIE. 1995. Vol. 2208. P. 103
- Магунов А.Н. // Завод. лаб. 1995. N 9. С. 27
- Магунов А.Н., Буяновская П.Г., Гасилов А.Ю., Преображенский М.Н. // Опт. и спектр. 1998. Т. 84. N 1. С. 68
- Белинский А.В. // УФН. 1995. Т. 165. N 6. С. 691
- Гасилов А.Ю., Магунов А.Н. // Завод. лаб. 1997. Т. 63. N 8. С. 32
- Голубев А.Н. // Опт. техника. 1995. N 4. С. 40
- Kurosaki R., Kikuchi J., Kobayashi Ya. // Proc. SPIE. 1995. Vol. 2635. P. 224
- Лукин О.В., Магунов А.Н. // Микроэлектроника. 1995. Т. 24. N 2. С. 119
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук