Получение толстых пленок YBa2Cu3O7-delta на сапфире с подслоем оксида церия
Гольман Е.К.1, Плоткин Д.А.1, Разумов С.В.1, Тумаркин А.В.1
1Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" им. В.И. Ульянова (Ленина), Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 28 апреля 1998 г.
Выставление онлайн: 20 августа 1999 г.
Показана возможность получения высококачественных пленок высокотемпературного сверхпроводника YBa2Cu3O7-delta толщиной до 2.6 mum методом магнетронного распыления на постоянном токе. Обнаружено, что включения, состоящие из CuO и YBa2Cu3O8, сосуществуют с растущей пленкой и являются "стоками" дефектов, нестехиометричных атомов и механических напряжений. Методами рентгеновской дифракции и резерфордовского обратного рассеяния установлено, что в предложенном технологическом режиме структурное совершенство пленок улучшается с увеличением толщины.
- Vassenden F., Linker G., Geerk J. // Physica C. 1991. Vol. 175. P. 566--572
- Sievers S., Mattheis F., Krebs H. // Appl. Phys. 1995. Vol. 78. P. 5545--5548
- Carim A.H., Basu S.N., Muenchausen R.E. // Apll. Phys. Lett. 1991. Vol. 58. N 8. P. 871--873
- Nieh C.W., Anthony L., Josefowicz J.Y. et al. // Appl. Phys. Lett. 1990. Vol. 56. P. 2138--2140
- Garcia-Gonzalez E., Wagner G., Reedyk M. // Appl. Phys. 1995. Vol. 78. P. 353--359
- Pennycook S.J., Chisholm M.F., Jesson D.E. et al. // Physica C. 1992. Vol. 202. P. 1--11
- Hollmann E.K., Goldrin V.I., Plotkin D.A. et al. // Tech. Phys. Lett. 1996. Vol. 22. N. 11. P. 942--943
- Tian Y.J., Guo L.P., Li L. et al. // Appl. Phys. Lett. 1994. Vol. 65. P. 234--238
- Hollmann E.K., Zaitsev A.G., Loginov V.E. et al. // J. Phys. D. 1993. Vol. 26. P. 504--506
- Gong J.P., Kawasaki M., Fujito K. // Phys. Rew. B. 1994. Vol. 50. P. 3280--3286
- Hollmann E.K., Goldrin V.I., Plotkin D.A. et al. // Phys. Sol. St. 1997. Vol. 39. N 2. P. 189--191
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
