Нестационарная спектроскопия поверхностных состояний в режиме постоянного подпорогового тока МДП транзистора
Левин М.Н.1, Бормонтов Е.Н.1, Татаринцев А.В.1, Гитлин В.Р.1
1Воронежский государственный университет, Воронеж, Россия
Поступила в редакцию: 27 мая 1998 г.
Выставление онлайн: 20 июля 1999 г.
Реализован метод исследования спектра поверхностных состояний на границе раздела полупроводник-диэлектрик по релаксации напряжения на затворе МДП транзистора, измеряемого в режиме постоянного подпорогового тока. Предлагаемый метод обеспечивает возможность исследования этих состояний в обеих половинах запрещенной зоны полупроводника и удобен для тестового контроля интегральных схем. Возможности метода проиллюстрированы на примере определения радиационно-стимулированных изменений спектра поверхностных состояний.
- Simmons J.G., Wei L.S. // Sol. St. Electron. 1974. Vol. 17. P. 117--119
- Johnson M.N.J. // Vac. Sci. Technol. 1982. Vol. 21. P. 303--315
- Wang K.L. // IEEE Trans. Electron. Dev. 1980. Vol. ED-27. P. 2231--2239
- Karwath A., Schulz M. // Appl. Phys. Lett. 1988. Vol. 52. P. 634--637
- Van Overstraeten R.J., Declerck G.J., Muls P.A. // IEEE Trans. Electron. Dev. 1975. Vol. ED-22. P. 282--288
- Ms Whorter P.J., Winokur P.S. // Appl. Phys. Lett. 1986. Vol. 48. P. 133--137
- Зи С. Физика полупроводниковых приборов. М., 1984. Т. 2. 456 с
- Левин М.Н., Израйлит В.Л., Татаринцев А.В., Кадменский С.Г. // ПТЭ. 1992. N 2. C. 119--122
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.