Журнал технической физики
Авторам
Вышедшие номера
- 2024
- 2023
- 2022
- 2021
- 2020
- 2019
- 2018
- 2017
- 2016
- 2015
- 2014
- 2013
- 2012
- 2011
- 2010
- 2009
- 2008
- 2007
- 2006
- 2005
- 2004
- 2003
- 2002
- 2001
- 2000
- 1999
- 1998
- 1997
- 1996
- 1995
- 1994
- 1993
- 1992
- 1991
- 1990
- 1989
- 1988
Влияние внутреннего геттера в кремнии на параметры структур Au--Si
1Нижегородский государственный университет им. Н.И. Лобачевского, Нижний Новгород, Россия 
Поступила в редакцию: 30 марта 1998 г.
Выставление онлайн: 20 мая 1999 г.
В работе показано, что применение внутреннего геттерирования примесей и дефектов в структурах Au-Si позволяет повысить их надежность и стабилизировать характеристики.
- Немцев Г.З., Пекарев А.И., Чистяков Ю.Д. // Микроэлектроника. 1983. Т. 12. N 5. С. 432--439
- Скупов В.Д. // Тез. докл. I Всероссийской конф. по материаловедению и физ.-хим. основам технологий получения легированных кристаллов кремния. М., 1996. С. 127
- Павлов П.В., Семин Ю.А., Скупов В.Д., Тетельбаум Д.И. // ФТП. 1986. Т. 20. Вып. 3. С. 503--507
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
