Фазовые превращения в системе титан--кремний при лазерной обработке в алканах
Чапланов А.М.1, Шибко А.Н.1
1Институт электроники АН Белоруссии, Минск, Белоруссия
Поступила в редакцию: 14 января 1998 г.
Выставление онлайн: 20 мая 1999 г.
Исследованы фазовые превращения, происходящие в композации титан-кремний при лазерной обработке с lambda=1.06 mum в пентане и гексане. Показана зависимость образования карбида, оксидов и силицидов титана от параметров и условий обработки. Фазовые изменение исследовались по всей толщине пленки, изучалось их влияние на электрофизические параметры контакта титан-кремний.
- Мьюрарка Ш. Силициды для СБИС. М.: Мир, 1986. 176 с
- Рыкалин Н.Н., Углов А.А., Кокора А.Н. Лазерная обработка материалов. М.: Машиностроение, 1975. 296 с
- Технология тонких пленок. Справочник / Под ред. Л. Майселла, М. Глэнга. Т. 1. М.: Сов. радио, 1977. 664 с
- Chaplanov A.M., Shibko A.N. // Phys. St. Sol. (a). 1990. Vol. 120. N 1. P. K37--K40
- Яценко О.Б., Твердохлебова А.Я., Садычев Э.А. // Неорган. материалы. 1992. Т. 28. N 3. С. 536--540
- Родерик Э.Х. Контакты металл--полупроводник. М.: Радио и связь, 1982. 208 с
- Стриха В.М., Бузанева Е.В., Радзиевский И.А. Полупроводниковые приборы с барьером Шоттки. М.: Сов. радио, 1974. 248 с
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук