Вышедшие номера
Эллипсометрия как экспресс-метод установления корреляции между пористостью и газочувствительностью слоев диоксида олова
Димитров Д.Ц.1, Лучинин В.В.1, Мошников В.А.1, Панов М.В.1
1Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" им. В.И. Ульянова (Ленина), Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 19 мая 1998 г.
Выставление онлайн: 19 марта 1999 г.

Впервые показана эффективность применения метода отражательной эллипсометрии для установления корреляции между основными параметрами газочувствительных слоев и оптическими характеристиками, доступными для экспресс-контроля. Это позволяет выйти на новый уровень прогнозирования свойств материала в связи с условиями получения, а следовательно, уменьшить экономические затраты на постановку технологии и сократить временной цикл оптимизационных процедур.
  1. Morrison S.R. // Sensors and Actuators. 1987. N 12. P. 425--440
  2. Аззам Р.М., Башара Н.М. Эллипсометрия и поляризованный свет. М.: Мир, 1981
  3. Oyabu T., Ohta Y., Kurobe T. // Sensors and Actuators. 1986. N 9. P. 301--312
  4. Bakin A.S., Bestaev M.V., Dimitrov D. et al. // Thin Solid Films. 1997. Vol. 296. P. 168--171
  5. Долотов К.И., Зильберман А.Б., Ильин Ю.Л. и др. // Неорган. материалы. 1994. N 1. С. 83--86
  6. Пшеницын В.И., Абаев М.И., Лызлов Н.Ю. Эллипсометрия в физико-химических исследованиях. Л.: Химия, 1986
  7. Бестаев М.В., Димитров Д.Ц., Ильин А.Ю. и др. // Изв. АН. Сер. физ. 1998. Т. 62. N 3. С. 549--551
  8. Рожнов Г.В., Бухтиярова Н.В., Кемарский В.А. и др. // Эллипсометрия: теория, методы, приложения. Новосибирск: Наука, 1991. С. 34--44

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.