Журнал технической физики

Авторам

Правила оформления публикаций

Вышедшие номера

2024
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11
2023
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2022
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2021
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2020
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2019
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2018
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2017
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2016
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2015
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2014
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2013
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2012
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2011
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2010
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2009
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2008
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2007
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2006
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2005
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2004
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2003
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2002
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2001
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2000
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1999
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1998
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1997
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1996
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1995
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1994
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1993
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1992
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1991
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1990
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1989
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1988
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12

Эллипсометрия как экспресс-метод установления корреляции между пористостью и газочувствительностью слоев диоксида олова

Димитров Д.Ц.¹, Лучинин В.В.¹, Мошников В.А.¹, Панов М.В.¹

¹Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" им. В.И. Ульянова (Ленина), Санкт-Петербург, Россия St. Petersburg State Electrotechnical University “LETI", St. Petersburg, Russia

St. Petersburg State Electrotechnical University “LETI", St. Petersburg, Russia

Поступила в редакцию: 19 мая 1998 г.

Выставление онлайн: 19 марта 1999 г.

PDF версия

Абстракт
Литература
Статистика просмотров

Впервые показана эффективность применения метода отражательной эллипсометрии для установления корреляции между основными параметрами газочувствительных слоев и оптическими характеристиками, доступными для экспресс-контроля. Это позволяет выйти на новый уровень прогнозирования свойств материала в связи с условиями получения, а следовательно, уменьшить экономические затраты на постановку технологии и сократить временной цикл оптимизационных процедур.

Morrison S.R. // Sensors and Actuators. 1987. N 12. P. 425--440
Аззам Р.М., Башара Н.М. Эллипсометрия и поляризованный свет. М.: Мир, 1981
Oyabu T., Ohta Y., Kurobe T. // Sensors and Actuators. 1986. N 9. P. 301--312
Bakin A.S., Bestaev M.V., Dimitrov D. et al. // Thin Solid Films. 1997. Vol. 296. P. 168--171
Долотов К.И., Зильберман А.Б., Ильин Ю.Л. и др. // Неорган. материалы. 1994. N 1. С. 83--86
Пшеницын В.И., Абаев М.И., Лызлов Н.Ю. Эллипсометрия в физико-химических исследованиях. Л.: Химия, 1986
Бестаев М.В., Димитров Д.Ц., Ильин А.Ю. и др. // Изв. АН. Сер. физ. 1998. Т. 62. N 3. С. 549--551
Рожнов Г.В., Бухтиярова Н.В., Кемарский В.А. и др. // Эллипсометрия: теория, методы, приложения. Новосибирск: Наука, 1991. С. 34--44

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.

Учредители

Издатель