Вышедшие номера
Моделирование и расчет емкости планарного конденсатора, содержащего тонкий слой сегнетоэлектрика
Вендик О.Г.1, Зубко С.П.1, Никольский М.А.1
1Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" им. В.И. Ульянова (Ленина), Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 24 декабря 1997 г.
Выставление онлайн: 19 марта 1999 г.

Произведен расчет емкости двухслойного планарного конденсатора, содержащего тонкий слой SrTiO3, методом конформных отображений в рамках метода частичных емкостей. Получены простые формулы для приближенного расчета емкостей отдельных компонент планарной структуры и определены пределы их применимости. Получено соотношение для емкости планарного конденсатора с учетом размерного эффекта в сегнетоэлектрической пленке в рамках метода частичных емкостей. Произведено сравнение расчета с экспериментально измеренной емкостью конденсатора.