Распыление металла в виде больших кластеров при ионной бомбардировке
Матвеев В.И.1, Белых С.Ф.2, Веревкин И.В.2
1Отдел теплофизики АН Республики Узбекистан, Ташкент, Узбекистан
2Институт электроники АН Республики Узбекистан, Ташкент, Узбекистан
Поступила в редакцию: 20 ноября 1997 г.
Выставление онлайн: 17 февраля 1999 г.
Предложена модель распыления металла в виде больших кластеров с числом атомов N<= 5 при ионной бомбардировке, основанная на простых физических предположениях и находящихся в согласии с экспериментом. В качестве примера рассчитан относительный выход кластеров в зависимости от числа атомов в составе кластера в результате бомбардировки различных металлов однозарядными ионами аргона при энергии 5 keV. Проведено сравнение с экспериментальными данными.
- Фундаментальные и прикладные аспекты распыления твердых тел. Сб. статей. Пер. с англ. М.: Мир, 1989. 399 с
- Взаимодействие заряженных частиц с твердым телом. Сб. лекций / Под ред. А. Грас-Марти, Г.М. Урбассека, Н.Р. Аристы, Ф. Флореса. Пер. с англ. М.: Высшая школа, 1994. 752 с
- Wucher A., Wahl W. // Nucl. Instr. Meth. 1996. Vol. B115. P. 581--589
- Coon S.R., Calaway W.F., Pellin M.Y. // Nucl. Instr. Meth. 1994. Vol. B90. P. 518--522
- Sigmund P. // Phys. Rev. 1969. Vol. 184. P. 383--416
- Wucher A., Garrison B.Y. // J. Chem. Phys. 1996. Vol. 105. P. 5999--6007
- Ферми Э. Научные труды. Т. 1. М.: Наука, 1971. 818 с
- Ландау Л.Д., Лифшиц Е.М. Квантовая механика. М.: Наука, 1989. 768 с
- Киттель Ч. Введение в физику твердого тела. М.: Наука, 1978. 792 с
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук