Вышедшие номера
Конверторы рентгеновского излучения для радиационной обработки тонких пленок
Беспалов В.И.1, Рыжов В.В.2, Турчановский И.Ю.2
1Национальный исследовательский Томский политехнический университет, Томск, Россия
2Институт сильноточной электроники СО РАН, Томск, Россия
Поступила в редакцию: 30 июня 1997 г.
Выставление онлайн: 20 октября 1998 г.

Методом Монте-Карло проведены расчеты энергии, поглощенной в тонких пленках материалов, при воздействии рентгеновского излучения, возникающего при торможении низкоэнергетических электронов (E0<500 keV) в конверторах с различными атомными номерами (Z=29-73). В программе учтены оба механизма ионизации K-оболочки, приводящие к излучению характеристических фотонов как за счет электронного удара, так и в результате фотоэффекта, и показан большой вклад характеристического излучения в поглощенную энергию в тонких пленках. Расчеты показали, что обоснованный выбор материала и толщины конвертора позволяет в 2--5 раз увеличить энергию рентгеновского излучения, поглощаемую в тонких пленках полупроводниковых материалов.
  1. Halbleib J.A., Lockwood G.J., Miller G.H. // IEEE Trans. Nucl. Sci. 1976. Vol. NS-23. N 6. P. 1881--1885
  2. Ryzhov V.V., Sapozhnikov A.A. // Proc. 9-=SUP=-th-=/SUP=- Intern. Conf. on High-Power Particle Beams "Beams-92". Washington, 1992. Vol. 2. P. 1199--1204
  3. Bespalov V.I., Korovin S.D., Ryzhov V.V., Turchanovsky I.Yu. // Proc. 10-=SUP=-th-=/SUP=- IEEE Intern. Pulsed Power Conf. Albuquerque (New Mexico, USA). 1995. Vol. 1. P. 75--79
  4. Kolbenstvedt H. // J. Appl. Phys. 1967. Vol. 38. N 12. P. 4785--4787.

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.