Численный расчет энергетического спектра тяжелых ионов в катодном слое тлеющего разряда в смеси газов
Кристя В.И.1
1Научно-исследовательский институт материалов электронной техники, Калуга, Россия
Поступила в редакцию: 23 апреля 1997 г.
Выставление онлайн: 20 мая 1998 г.
Разработан метод численного решения уравнения для функции распределения тяжелых ионов по полным энергиям в катодном слое тлеющего разряда в смеси интертных газов, требующий намного меньших затрат машинного времени, чем метод Монте-Карло. Показано, что он позволяет с удовлетворительной точностью рассчитать энергетический спектр тяжелых ионов, бомбардирующих катод в приборах тлеющего разряда.
- Hall L.H. // J. Appl. Phys. 1988. Vol. 64. N 5. P. 2630--2637
- Бондаренко Г.Г., Коржавый А.П., Кристя В.И. и др. // Металлы. 1996. N 5. С. 54--60
- Abril I., Gras-Marti A., Valles-Abarca J.A. // Phys. Rev. A. 1983. Vol. 28. N 6. P. 3677--3678
- Кучинский В.В., Сухомлинов В.С., Шейкин Е.Г. // ЖТФ. 1985. Т. 55. Вып. 1. С. 67--72
- Konovalov V.P., Bretagne J., Gousset G. // J. Phys. D. 1992. Vol. 25. N 7. P. 1073--1079
- Фирсов О.Б., Кучинский В.В. // Физика плазмы. 1992. Т. 18. Вып. 1. С. 114--118
- Korgiaviy A.P., Kristya V.I. // J. Appl. Phys. 1991. Vol. 70. N 9. P. 5117--5118
- Thompson B.E., Sawin H.H. // J. Appl. Phys. 1988. Vol. 63. N 7. P. 2241--2251
- Farouki R.T., Hamaguchi S., Dalvie M. // Phys. Rev. A. 1991. Vol. 44. N 4. P. 2664--2681
- Кристя В.И. // ЖТФ. 1996. Т. 66. Вып. 6. С. 8--14
- Хастед Дж. Физика атомных столкновений. М.: Мир, 1965. 710 с
- Paulick T.C. // J. Appl. Phys. 1990. Vol. 67. N 6. P. 2774--2788
- Поттер Д. Вычислительные методы в физике. М.: Мир, 1975. 392 с
- Коржавый А.П., Кристя В.И. // ЖТФ. 1993. Т. 63. Вып. 2. С. 200--202
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук