Вышедшие номера
Home » Журнал технической физики » Год 1998, выпуск 5 » Статья стр. 52
<<<>>>
Особенности alpha-gamma-перехода в ВЧ разряде низкого давления в аргоне
Лисовский В.А.1
1Харьковский государственный университет, Харьков, Украина
Поступила в редакцию: 9 декабря 1996 г.
Выставление онлайн: 19 апреля 1998 г.
PDF версия
Получено, что область устойчивого существования alpha-режима высокочастотного (ВЧ) разряда ограничена не только со стороны средних давлений, но и со стороны низких давлений. Особенностью alpha-gamma-перехода ВЧ разряда низкого давления является то, что критерий пробоя приэлектродного слоя не выполняется. Показано, что при низких давлениях alpha-gamma-переход ВЧ разряда в аргоне происходит скачком и имеет гистерезисный характер. При промежуточных давлениях alpha-gamma-переход происходит непрерывно, без скачков, при этом появляется отрицательная дифференциальная проводимость, формируются двойные слои, в центре разряда наблюдается немонотонное поведение плотности плазмы. Обсуждается роль стохастического (бесстолкновительного) нагрева электронов в поддержании ВЧ разряда при промежуточных давлениях газа.
  1. Flamm D.L., Donnelley V.M., Ibbotson D.E. // J. Vac. Sci. Technol. 1983. Vol. B1. N 1. P. 23--30
  2. Coburn J.M., Kay E. // IBM J. Res. Develop. 1979. Vol. 23. N 1. P. 33--41
  3. Мышенков В.И., Яценко Н.А. // Квантовая электрон. 1981. Т. 8. С. 2121
  4. Райзер Ю.П., Шнейдер М.Н., Яценко Н.А. Высокочастотный емкостный разряд: Физика. Техника эксперимента. Приложения. М.: Изд-во МФТИ; Наука--Физматлит, 1995. 320 с
  5. Левитский С.М. // ЖТФ. 1957. Т. 27. Вып. 5. С. 970--977
  6. Яценко Н.А. // ЖТФ. 1980. Т. 50. Вып. 11. С. 2480--2483. Там же. 1981. Т. 51. Вып. 6. С. 1195--1204. Там же. 1988. Т. 58. Вып. 2. С. 294--301
  7. Godyak V.A., Khanneh A.S. // IEEE Trans. Plasma. Sci. 1986. Vol. 14. N 2. P. 112--123
  8. Райзер Ю.П., Шнейдер М.Н. // Физика плазмы. 1987. Т. 13. N 4. С. 471--479. Там же. 1988. Т. 14. N 2. С. 226--232. Там же. 1992. Т. 18. N 11. С. 1476--1488
  9. Godyak V.A., Piejak R.B., Alexandrovich B.M. // IEEE Trans. Plasma Sci. 1991. Vol. 19. N 4. P. 660--676
  10. Каганович И.Д., Цендин Л.Д., Яценко Н.А. // ЖТФ. 1994. Т. 64. Вып. 12. С. 25--46
  11. Vidaud P., Durrani S.M.A., Hall D.K. // J. Phys. D. 1988. Vol. 21. N 1. P. 57--66
  12. Makabe T., Nakano N., Yamaguchi Y. // Phys. Rev. A. 1992. Vol. 45. N 4. P. 2520--2531
  13. Bohm C., Perrin J. // J. Phys. D. 1991. Vol. 24. N 6. P. 865--881
  14. Vitruk P.P., Baker H.J., Hall D.K. // J. Phys. D. 1992. Vol. 25. N 12. P. 1767--1776
  15. Райзер Ю.П. Физика газового разряда. М.: Наука, 1987. 592 с
  16. Кропотов Н.Ю., Лисовский В.А., Качанов Ю.А. и др. // Письма в ЖТФ. 1989. Т. 15. Вып. 21. С. 17--22
  17. Лисовский В.А., Егоренков В.Д., Красников О.В. // Письма в ЖТФ. 1993. Т. 19. Вып. 21. С. 21. С. 90--95
  18. Лисовский В.А., Красников О.В. // Письма в ЖТФ. 1995. Т. 21. Вып. 22. С. 57--61
  19. Lisovskiy V.A., Krasnikov O.V. // Record-Abstracts of 22 nd IEEE Intern. Conf. on Plasma Sci. Madison (USA), 1995. P. 144
  20. Немчинский В.А. // ЖТФ. 1970. Т. 40. Вып. 2. С. 416--419
  21. Schulz G.J., Brown S.C. // Phys. Rev. 1955. Vol. 98. N 6. P. 1642--1649
  22. Dudin S.V. // Record-Abstracts of 23 d IEEE Intern. Conf. on Plasma Sci. Borton, 1996. P. 45
  23. Дудин С.В. // ПТЭ. 1994. N 4. С. 78--82
  24. Годяк В.А., Ганна А.Х. // Физика плазмы. 1980. Т. 6. N 3. С. 676--683
  25. Popov O.A., Godyak V.A. // J. Appl. Phys. 1985. Vol. 57. N 1. P. 53--58
  26. Beneking C. // J. Appl. Phys. 1990. Vol. 68. N 9. P. 4461--4473
  27. Tochikudo F., Kokubo T., Kakuta S. et al. // J. Phys. D. 1990. Vol. 23. N 9. P. 1184--1192
  28. Kokubo T., Tochikubo F., Makabe T. // Appl. Phys. Lett. 1990. Vol. 56. N 9. P. 818--820
  29. Kakuta S., Kitajima T., Okabe Y., Makabe T. // Jap. J. Appl. Phys. 1990. Vol. 33. P. 1. N 7B. P. 4335--4339
  30. Terai K., Ohsone Y., Kaneda T., Kubota T. // Proc. 20 th Intern. Conf. on Phenomena in Ionized Gases. Contrib. Pap. 5. Pisa, 1991. P. 1151--1152
  31. Sommerer T.J., Kushner M.J. // J. Appl. Phys. 1992. Vol. 71. N 4. P. 1654--1673
  32. Годяк В.А. // Физика плазмы. 1976. Т. 2. N 1. С. 141--151
  33. Wood B.P., Lieberman M.A., Lichtenberg A.J. // IEEE Trans. Plasma Sci. 1995. Vol. 23. N 1. P. 89--96
  34. Kaganovich I.D., Tsendin L.D. // IEEE Trans. Plasma Sci. 1992. Vol. 20. N 2. P. 66--75, 86--92
  35. May P.W., Klemperer D.F., Field D. // J. Appl. Phys. 1993. Vol. 73. N 4. P. 1634--1643
  36. Godyak A.V., Sternberg N. // Phys. Rev. A. 1990. Vol. 42. N 4. P. 53--58
  37. Будянский А.М. // Письма в ЖТФ. 1992. Т. 18. Вып. 1. С. 17--22
  38. Lieberman M.A. // IEEE Trans. Plasma Sci. 1989. Vol. 17. N 2. P. 338
  39. Knewstubb P.F., Tickner A.W. // J. Chem. Phys. 1962. Vol. 36. P. 674--683
  40. Fitzwilson R.L., Chanin L.M. // J. Appl. Phys. 1973. Vol. 44. P. 5337--5346
  41. Mehr F.J., Biondi M.A. // Phys. Rev. 1968. Vol. 176. N 1. P. 322--326
  42. Грановский В.Л. Электрический ток в газе (установившийся ток). М.: Наука, 1971. 544 с
  43. Райзер Ю.П., Шнейдер М.Н. // ТВТ. 1991. Т. 29. N 6. С. 1041--1052.

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.

Учредители

Издатель

© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук
Powered by webapplicationthemes.com - High quality HTML Theme