Сканирование лазерного излучения и очистка материалов на основе явления светоиндуцированного дрейфа частиц в полупроводниках
Крупа Н.Н.1, Погорелый А.Н.1
1Институт магнетизма АН Украины, Киев, Украина
Поступила в редакцию: 14 октября 1996 г.
Выставление онлайн: 19 марта 1998 г.
Описаны результаты экспериментальных исследований явления светоиндуцированного дрейфа (СИД) электронов, поглощающих примесей и дефектов в полупроводниках A2B6 и некоторые возможности его практического использования. Показано, что СИД электронов приводит к очень большому изменению показателя преломления |Delta n|~0.01 и позволяет получить эффективное сканирование нано- и пикосекундных лазерных импульсов за счет нарушения полного внутреннего отражения. СИД поглощающих примесей вызывает увеличение их концентрации в приповерхностном слое кристаллов, что также может быть использовано в технологии полупроводников.
- McWane P.D. // Nature. 1966. Vol. 211. N 033. P. 1081
- Борщ А.А., Бродин М.С., Волков В.И., Овчар В.В. // Квантовая электрон. 1975. Т. 2. N 3. С. 602
- Борщ А.А., Бродин М.С., Волков В.И., Крупа Н.Н. // ЖТФ. 1978. Т. 48. Вып. 11. С. 2273
- Крупа Н.Н., Недбаев Н.Я., Петренко Р.А., Стаценко А.А. А. С. СССР. N 10901145. МКИ 3 G 02 1/37. Заявка от 18.06.82. Опуб. 03.01.1984
- Багацкий В.Т., Крупа Н.Н., Ломакин В.И. А. С. СССР. N 1259844. МКИ G 02 F 1/09. Заявка от 16.08.84. Опуб. 29.07.1985
- Крупа Н.Н., Ломакин В.И. А. С. СССР. N 1294036. МКИ C 03 B 33/29/45. Заявка от 13.02.85. Опуб. 29.07.1985
- Гельмуханов Ф.Х., Шалагин А.М. Письма в ЖЭТФ. 1979. Т. 29. Вып. 12. С. 773
- Гельмуханов Ф.Х., Пархоменко А.И. Препринт Ин-та автоматики и электрометрии СО АН СССР. N 340. 1987. 32 с
- Брыжных Н.А., Гринберг А.А., Иманов Э.З. ФТТ. 1971. Т. 5. Вып. 9. С. 1735
- Данишевский А.М., Костальский А.Л., Рывкин С.М. // ЖЭТФ. 1970. Т. 58. Вып. 2. С. 544
- Борщ А.А., Бродин М.С., Крупа Н.Н. // ЖЭТФ. 1975. Т. 70. Вып. 5. С. 1805
- Борщ А.А., Бродин М.С., Волков В.И. // ЖЭТФ. 1977. Т. 72. Вып. 3. С. 938
- Бродин М.С., Давыдова Н.А., Шаблий И.Ю. // Изв. АН СССР. Сер. физ. 1982. Т. 46. N 6. С. 1037
- Boling N., Braunlich P., Schmid A., Kelly P. // Appl. Phys. Lett. 1975. Vol. 27. N 4. P. 191
- Дякин В.В., Халилова Н.С. // УФЖ. 1981. Т. 26. N 6. С. 1297
- Эмиров Ю.М., Остапенко С.С., Ризаханов М.А., Шейнкман М.К. // ФТП. 1982. Т. 16. Вып. 8. С. 1371
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук