Вышедшие номера
Электроформовка как процесс самоорганизации нанометрового зазора в углеродистой среде
Валиев К.А.1, Левин В.Л.1, Мордвинцев В.М.1
1Институт микроэлектроники РАН, Ярославль, Россия
Поступила в редакцию: 6 мая 1996 г.
Выставление онлайн: 20 октября 1997 г.

На основе анализа имеющихся экспериментальных данных, а также предложенных механизмов и моделей процессов, имеющих место при электроформовке структуры металл-изолятор-металл, делается вывод, что она включает следующие две стадии: образование углеродистой проводящей среды из органических молекул за счет протекания тока в изолирующей щели и самоорганизацию нанометрового зазора в углеродистой проводящей среде через бифуркацию при локальном превышении температурой этой среды некоторого критического значения из-за ее саморазогрева. Можно утверждать, что нанозазор является диссипативной структурой, возникающей в силу тепловой неустойчивости в углеродистой среде при прохождении через нее потока электронов и наличии сильного электрического поля, стабильность которой обеспечивается существенной нелинейностью происходящих в нем процессов, включенных в механизм обратной звязи. Показано, что необходимая для выполнения электроформовки начальная проводимость структуры может быть реализована за счет нанометровой ширины изолирующей щели, что продемонстрировано экспериментально с помощью конструкции, названной открытой "сэндвич"-МИМ структурой.