Электроформовка как процесс самоорганизации нанометрового зазора в углеродистой среде
Валиев К.А.1, Левин В.Л.1, Мордвинцев В.М.1
1Институт микроэлектроники РАН, Ярославль, Россия
Выставление онлайн: 20 октября 1997 г.
На основе анализа имеющихся экспериментальных данных, а также предложенных механизмов и моделей процессов, имеющих место при электроформовке структуры металл-изолятор-металл, делается вывод, что она включает следующие две стадии: образование углеродистой проводящей среды из органических молекул за счет протекания тока в изолирующей щели и самоорганизацию нанометрового зазора в углеродистой проводящей среде через бифуркацию при локальном превышении температурой этой среды некоторого критического значения из-за ее саморазогрева. Можно утверждать, что нанозазор является диссипативной структурой, возникающей в силу тепловой неустойчивости в углеродистой среде при прохождении через нее потока электронов и наличии сильного электрического поля, стабильность которой обеспечивается существенной нелинейностью происходящих в нем процессов, включенных в механизм обратной звязи. Показано, что необходимая для выполнения электроформовки начальная проводимость структуры может быть реализована за счет нанометровой ширины изолирующей щели, что продемонстрировано экспериментально с помощью конструкции, названной открытой "сэндвич"-МИМ структурой.
- Hickmott T.W. // J. Appl. Phys. 1964. Vol. 35. N 9. P. 2679--2689
- Pagnia H., Sotnik N. // Phys. Stat. Sol. (a). 1988. Vol. 108. N 11. P. 11--65
- Гапоненко В.М. // Изв. вузов. физика. 1992. N 5. С. 115--120
- Мордвинцев В.М., Левин В.Л. // ЖТФ. 1994. Т. 64. Вып. 12. С. 88--100
- Мордвинцев В.М., Левин В.Л. // ЖТФ. 1996. Т. 66. Вып. 7. С. 83
- Pagnia H., Sotnik N., Wirth W. // Int. J. Electron. 1990. Vol. 69. N 1. P. 25--32
- Шкловский Б.И., Эфрос А.Л. Электронные свойства легированных полупроводников М.: Наука, 1979. 416 с
- Дирнлей Дж., Стоунхэм А., Морган Д. // УФН. 1974. Т. 112. Вып. 1. С. 83--127
- Николис Г., Пригожин И. Самоорганизация в неравновесных системах. М.: Мир, 1979. 512 с
- Pagnia H., Sotnik N., Stauss. // Phys. Stat. Sol. (a). 1985. Vol. 90. P. 771--780
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук