Исследование приграничных состояний в МДП структурах одночастотным методом адмиттанса
Бормонтов Е.Н.1, Лукин С.В.1
1Воронежский государственный университет, Воронеж, Россия
Поступила в редакцию: 18 марта 1996 г.
Выставление онлайн: 19 сентября 1997 г.
Рассмотрены две модели процесса туннельной перезарядки приграничных состояний, заглубленных в диэлектрик. В одной из них пространственное распределение этих состояний считается однородным, в другой объемная плотность ловушек экспоненциально спадает с глубиной. Получены аналитические выражения для ширины и положения максимума кривых нормированной проводимости в обеих моделях, показаны их точность и ограничения. Предложена новая методика исследования приграничных состояний методом адмиттанса, использующая G-V-характеристики структур металл-диэлектрик-полупроводник (МДП), снятые на фиксированной частоте.
- Nicollian E.H., Goetzberger A. // Appl. Phys. Lett. 1965. Vol. 7. P. 216--219
- Lehovec K. // Appl. Phys. Lett. 1966. Vol. 8. P. 48--50
- Nicollian E.H., Goetzberger A. // Bell Syst. Tech. J. 1967. Vol. 46. P. 1055--1133
- Nicollian E.H., Goetzberger A., Lopez A.D. // Sol. St. Electron. 1969. Vol. 12. P. 937--944
- Brews J.R. // Sol. St. Electron. 1983. Vol. 26. P. 711--716
- Yadava R.D.S. // Sol. St. Electron. 1990. Vol. 33. N 1. P. 127--137
- De Dios A., Castan E., Bailon L. et al. // Sol. St. Electron. 1990. Vol. 33. N 8. P. 987--992
- Бормонтов Е.Н., Котов С.В., Лукин С.В., Головин С.В. // ФТП. 1995. Т. 29. Вып. 4. С. 646--653
- Khosru Q.D.M., Yasuda N., Taniguchi K., Hamaguchi C. // J. Appl. Phys. 1994. Vol. 76. N 8. P. 4738--4742
- Schuegraf K.F., Hu C. // Semicond. Sci. Technol. 1994. Vol. 9. P. 989--1004
- Гуртов В.А. Электронные процессы в структурах металл--диэлектрик--полупроводник. Петрозаводск: Изд-во ПГУ, 1984. 114 с
- Овсюк В.Н. Электронные процессы в полупроводниках с областями пространственного заряда. Новосибирск: Наука, 1984. 254 с
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.