Особенности анализа слоистых структур с использованием ионного распыления
Дорожкин А.А.1, Филимонов А.В.1, Коварский А.П.1, Кудрявцев Ю.А.1, Петров Н.Н.1
1Санкт-Петербургский государственный технический университет, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 18 апреля 1996 г.
Выставление онлайн: 20 августа 1997 г.
Приведены результаты экспериментального исследования слоистых структур, образованных элементами с сильно различающимися атомными массами. Использовано ионное распыление с постионизацией вторичных нейтралей в плазме газового разряда. Отмечено аномальное возрастание сигнала на границе раздела слоев. Высказано предположение о роли явления селективности распыления при измерении профилей выхода вторичных частиц.
- Зандерна А. Методы анализа поверхностей. М.: Мир, 1979
- Dorozhkin A.A., Kovarsky A.P., Kudriavtsev Y., Yagodkina M. // Abstracts of SIMS IX. Yokohama, 1993
- Benninghoven A., Rudenauer F.G., Werner W. Secondary Ion Mass-spectrometry. J. Willey a.s., 1987
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2025 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук