Вышедшие номера
Особенности анализа слоистых структур с использованием ионного распыления
Дорожкин А.А.1, Филимонов А.В.1, Коварский А.П.1, Кудрявцев Ю.А.1, Петров Н.Н.1
1Санкт-Петербургский государственный технический университет, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 18 апреля 1996 г.
Выставление онлайн: 20 августа 1997 г.

Приведены результаты экспериментального исследования слоистых структур, образованных элементами с сильно различающимися атомными массами. Использовано ионное распыление с постионизацией вторичных нейтралей в плазме газового разряда. Отмечено аномальное возрастание сигнала на границе раздела слоев. Высказано предположение о роли явления селективности распыления при измерении профилей выхода вторичных частиц.