"Журнал технической физики"
Издателям
Вышедшие номера
Свойства алмазоподобных пленок, полученных в барьерном разряде при атмосферном давлении
Бугаев С.П.1, Коротаев А.Д.1, Оскомов К.В.1, Сочугов Н.С.1
1Институт сильноточной электроники СО РАН, Томск, Россия
Поступила в редакцию: 23 февраля 1996 г.
Выставление онлайн: 20 июля 1997 г.

Из газообразных углеводородов в барьерном разряде при атмосферном давлении получены алмазоподобные пленки. Проведены исследования покрытий методами просвечивающей электронной микроскопии, дифракции электронов и абсорбционной ИК спектроскопии. Изложена методика определения количественных характеристик пленок (доля водорода, соотношение разных видов углерод-углеродных связей и углеводородных групп) с помощью эталонных образцов. Покрытия с наилучшими характеристиками получены из метана (отношение атомов водорода и углерода H/C=1.04, доля алмазоподобных и графитоподобных связей sp3: sp2=100%:0%) и из смеси ацетилена и водорода в соотношении 1:19 (H/C=0.73, sp3:sp2= 68%:32%).
  1. Aisenberg S. // J. Vac. Sci. Technol. 1990. Vol. A8. N 3. P. 2150--2154
  2. Aisenberg S., Chabot R. // J. Appl. Phys. 1971. Vol. 42. P. 2953
  3. Spencer E., Shmidt P. // Appl. Phys. Lett. 1976. Vol. 29. P. 118
  4. Zhiao Z. // Vacuum. 1990. Vol. 40. N 6. P. 505
  5. Moller W. // Proc. of 3-=SUP=- d-=/SUP=- TATF. Strasbourg (France), 1991. P. 273
  6. Owano T.G., Kruger C.H. // Plasma Chem. \& Plasma Processing. 1993. Vol. 13. N 3. P. 433--446
  7. Baldwin S.K., Owano T.G. // Appl. Phys. Lett. 1995. Vol. 67. N 2. P. 194--196
  8. Oakes D.B., Butler J.E. // J. Appl. Phys. 1991. Vol. 69. N 4. P. 2602--2610
  9. Schwarz R., Salge J. // Proc. of ISPC 11. Loughborough (England), 1993. P. 1071--1076
  10. Gibalov V., Braun D. // Proc. of ISPC10. Bochum (Germany), 1991. Vol. 3.2. P. 7.1--7.6
  11. Kumar S. // Appl. Phys. Lett. 1991. Vol. 58. N 17. P. 1836--1838
  12. Слепцов В.В., Елинсон В.М., Ивановский Г.Ф. // Вакуумная техника и технология. 1992. Т. 2. N 4. C. 69--72
  13. Cuomo J.J., Doyle J.P. // Appl. Phys. Lett. 1991. Vol. 58. N 5. P. 466--468
  14. Беллами Л. Инфракрасные спектры сложных молекул. М.; Л., 1963. 590 с
  15. Cardona M. // Phys. Stat. Sol. (B). 1983. Vol. 118. N 2. P. 463--481
  16. Zou J.W., Schmidt K. // J. Appl. Phys. 1989. Vol. 67. N 1. P. 487--494
  17. Чайковский Э.Ф., Пузиков В.М., Семенов А.В. // Arch. Nauki o Materialach. 1986. Vol. 7. N 2. P. 187--190
  18. Dischler B., Bayer E. // J. Appl. Phys. 1990. Vol. 68. N 3. P. 1237--1241
  19. Goodwin D.G. // J. Appl. Phys. 1993. Vol. 74. N 11. P. 6888-6894
  20. Манкелевич Ю.А., Рахимов А.Т., Суетин Н.В. // Физика плазмы. 1995. Т. 21. N 10. C. 921--927
  21. Jiang X., Reichelt K. // J. Appl. Phys. 1990. Vol. 68. N 3. P. 1018--1022
  22. Catania P., Sampeur Y. // Proc. of CIP 93. Antibes (France), 1993. P. 116--120
  23. Ham M., Lou K. // J. Vac. Sci. Technol. 1990. Vol. A8. N 3. P. 2149--2154
  24. Buuron A., Schram D. // Proc. of CIP 93. Antibes (France), 1993. P. 89--91
  25. Дерягин Б.В., Федосеев Д.В. Рост алмаза и графита из газовой фазы. М.: Наука, 1977. 115 с

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.