Вышедшие номера
Свойства алмазоподобных пленок, полученных в барьерном разряде при атмосферном давлении
Бугаев С.П.1, Коротаев А.Д.1, Оскомов К.В.1, Сочугов Н.С.1
1Институт сильноточной электроники СО РАН, Томск, Россия
Поступила в редакцию: 23 февраля 1996 г.
Выставление онлайн: 20 июля 1997 г.

Из газообразных углеводородов в барьерном разряде при атмосферном давлении получены алмазоподобные пленки. Проведены исследования покрытий методами просвечивающей электронной микроскопии, дифракции электронов и абсорбционной ИК спектроскопии. Изложена методика определения количественных характеристик пленок (доля водорода, соотношение разных видов углерод-углеродных связей и углеводородных групп) с помощью эталонных образцов. Покрытия с наилучшими характеристиками получены из метана (отношение атомов водорода и углерода H/C=1.04, доля алмазоподобных и графитоподобных связей sp3: sp2=100%:0%) и из смеси ацетилена и водорода в соотношении 1:19 (H/C=0.73, sp3:sp2= 68%:32%).