Вышедшие номера
Двухпериодный цилиндрический энергоанализатор с торцевыми электродами
Овсянникова Л.П.1, Фишкова Т.Я.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 27 марта 1996 г.
Выставление онлайн: 20 июля 1997 г.

Получены аналитические выражения для основных параметров цилиндрического анализатора, по торцам которого установлены плоские электроды с потенциалом внутреннего цилиндра. Рассчитаны одно- и двухпериодные режимы его работы с фокусировкой первого порядка по углу для объекта, вынесенного за пределы анализатора. Получено, что чем больше расстояние от объекта до переднего торца анализатора, тем меньше его светосила. Рассчитана интенсивность пучка на выходе при сканировании поверхности образца тонким первичным пучком, а также при наличии объекта конечных размеров. Найдены эмпирические формулы для спада интенсивности по мере удаления от центра объекта. Сравнение расчетов, выполненных численно по программе для двумерной оптики заряженных частиц и по аналитическим формулам, показало, что их различие составляет не более 10%.