Распределение внедренной примеси и выделенной энергии при высокоэнергетической ионной имплантации
Комаров Ф.Ф.1, Мозолевский И.Е.1, Матус П.П.1, Ананич С.Э.1
1Институт прикладных физических проблем,, Минск, Белоруссия Белорусский государственный университет,, Минск, Белоруссия Институт математики АН Белоруссий,, Минск, Белоруссия
Поступила в редакцию: 24 мая 1995 г.
Выставление онлайн: 20 декабря 1996 г.
Предложена новая модель высокоэнергетической ионной имплантации, основанная на использовании уравнения Фоккера-Планка. Разработан эффективный алгоритм адаптивного типа для численного решения задачи. Проведено моделирование имплантации B в Si в области энергий от 10 до 100 МэВ. Получено хорошее согласование с экспериментальными данными и результатами моделирования методом Монте-Карло.
- Biersack J.P. // Nucl. Instr. and Meth. 1988. Vol. B35. P. 205--214
- Lindhard J., Scharff H., Schiot H.E. // K. Dan. Videusk. Selsk. Mat. Medd. 1963. Vol. 33. N 14
- Ziegler J.E., Biersack J.P., Littmark J. The Stopping Power and Range of Ions in Solids. New York: Pergamon, 1985
- Мозолевский И.Е., Белько В.И. // Поверхность. 1994. N 4. C. 40--47
- Mozolevski I.E., Belko V.I. // Nucl. Instr. and Meth. 1995. Bol. B95. P. 17--24
- Bardos G. // Rad. Eff. 1988. Vol. 105. P. 191--201
- Bardos G. // Rad. Eff. 1988. Vol. 105. P. 203--209
- Burenkov A.F., Komarov F.F. // Vacuum. 1991. Vol. 42. N 1/2. P. 13--15
- Ремизович В.С., Рогозкин Д.Б., Рязанов М.И. Флуктуации пробегов заряженных чатстиц. М.: Энергоиздат, 1988
- Przybylski K., Ligou J. // Nucl. Sci. Eng. 1982. Vol. 81. P. 92--109
- Morel J.E. // Nucl. Sci. Eng. 1981. Vol. 79. P. 340--356
- Комаров Ф.Ф., Новиков А.П., Буренков А.Ф. Ионная имплантация. Минск, 1994
- Самарский А.А. Теория разностных схем. М.: Наука, 1989
- Калиткин Н.Н. Численные методы. М.: Наука, 1978
- La Ferra A. et al. // Mat. Sci. and Eng. 1989. Vol. 82. P. 69
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук