Способ формирования графеновых пленок
Ильичев Э.А.1, Кириленко Е.П.1, Петрухин Г.Н.1, Рычков Г.С.1, Сахаров О.А.1, Хамдохов З.М.1, Хамдохов Э.З.1, Чернявская Е.С.1, Шупегин М.Л.1, Щекин А.А.1
1Научно-исследовательский институт физических проблем им. Ф.В. Лукина, Москва, Зеленоград, Россия
Email: edil44@mail.ru
Поступила в редакцию: 4 июля 2013 г.
Выставление онлайн: 19 июня 2014 г.
В настоящей статье предлагается и исследуется метод формирования графеновых пленок посредством термодиффузии атомов углерода из аморфной углеродной либо кремний-углеродной пленок наноразмерной толщины сквозь пленку катализатора, их накопления на границе раздела каталитический слой/барьерный слой с последующей организацией фазового перехода углеродная "квазижидкость" -графен. Одним из преимуществ такого способа изготовления пленок графена является возможность их формирования непосредственно на диэлектрическом слое и последующего вывешивания ее с помощью мембранных технологий над поверхностью подложки, что исключает необходимость в использовании сложных процедур отделения графеновой пленки от подложки.
- Rollings E., Gweon G.-H., Zhou S.Y. et al. // J. Phys. and Chem. of Sol. 2006. Vol. 67. P. 2172--2177
- Varchon F., Feng R., Hass J. et al. // Phys. Rev. Lett. 2007. Vol. 99. P. 126 805
- Ismach A., Druzgalsk C., Penwell S. // Nano Lett. 2010. 10 (5), P. 1542--1548
- Власенко В.А., Беляев С.Н., Ефимов А.Г., Ильичев Э.А. и др. // Письма в ЖТФ. 2009. Т. 35. Вып. 15. С. 105--110
- Пыпкин Б.Н., Шупегин М.Л. Способ получения алмазоподобных покрытий. Патент РФ N 2111292 от 20.05.1998
- Smith E., Dent G. // John Wiley \& Sons, LTD, 2005
- Гоулдстейн Дж., Ньюбери Д., Эчлин П., Джой Д., Фиори Ч., Лифшин Э. Растровая электронная микроскопия и рентгеновский микроанализ. М.: Мир. 1984. Т. 1
- Микроанализ и растровая электронная микроскопия / Под ред. Ф. Морис, Л. Мени, Р. Тиксье. М.: Металлургия, 1985
- Meyer G., Amer N.M. // Appl. Phys. Lett. 1988. Vol. 53. P. 1045
- Dresselhaus M.S., Dresselhaus G., Hofmann M. // Phil. Trans. R. Soc. A. 2008. Vol. 366. N 1863. P. 28
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.