Вышедшие номера
Конденсационно-сорбционная и сорбционная откачка при температурах твердого азота
Ларин М.П.
Выставление онлайн: 19 сентября 1988 г.

Описаны экспериментальные результаты по откачке N2, Н2, Аr, CF4 и других газов конденсатами паров H2O, CCl4 и активным углем СКТ при T=<50 K. Приводятся конструкция сорбционного насоса, охлаждаемого твердым N2, с диапазоном рабочих давлений 101-10-8 Па и быстротой действия 1.2 м3/с по Аr, 2.8 м3/с по H2, 1.5 м3/с по фреону-14 (CF4) и его динамические и статические характеристики. Показана эффективность работы этого насоса в режиме чередующихся процессов плазмохимической обработки изделий в среде аргона, а также в среде других газов, в том числе и агрессивных, при давлениях напуска 101-10-2 Па и ниже с последующим получением сверхвысокого вакуума в рабочих камерах до P=10-5/10-7 Па после прекращения напуска. Сделаны выводы о высокой работоспособности сорбционного крионасоса, охлаждаемого твердым N2, для полностью безмасляной откачки напылительных, плазмохимических и других установок, где использование таких средств откачки, как диффузионные, турбомолекулярные, форвакуумные механические насосы, насосы Рутса и другие, по тем или иным причинам неприемлемо.

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.