Описаны экспериментальные результаты по откачке N₂, Н₂, Аr, CF₄ и других газов конденсатами паров H₂O, CCl₄ и активным углем СКТ при T=<50 K. Приводятся конструкция сорбционного насоса, охлаждаемого твердым N₂, с диапазоном рабочих давлений 10¹-10^-8 Па и быстротой действия 1.2 м³/с по Аr, 2.8 м³/с по H₂, 1.5 м³/с по фреону-14 (CF₄) и его динамические и статические характеристики. Показана эффективность работы этого насоса в режиме чередующихся процессов плазмохимической обработки изделий в среде аргона, а также в среде других газов, в том числе и агрессивных, при давлениях напуска 10¹-10^-2 Па и ниже с последующим получением сверхвысокого вакуума в рабочих камерах до P=10^-5/10^-7 Па после прекращения напуска. Сделаны выводы о высокой работоспособности сорбционного крионасоса, охлаждаемого твердым N₂, для полностью безмасляной откачки напылительных, плазмохимических и других установок, где использование таких средств откачки, как диффузионные, турбомолекулярные, форвакуумные механические насосы, насосы Рутса и другие, по тем или иным причинам неприемлемо.

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.